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捷歐路JEOL JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡

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更新時間：2022-12-25 14:43:58瀏覽次數：170次

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捷歐路JEOL JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術，標配TTLS系統（Through-The-Lens System），無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。此外，保證300nA的束流，能兼顧...

詳細介紹

捷歐路JEOL JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡應用了日本電子旗艦機-JSM-7800F Prime采用的浸沒式肖特基電子槍技術，標配TTLS系統（Through-The-Lens System），無論是在高/低加速電壓下，空間分辨率都比傳統機型有了很大的提升。此外，保證300nA的束流，能兼顧高分辨率觀察和高通量分析，具有充實的自動功能和易用性，是新一代的多功能場發射掃描電鏡。

捷歐路JEOL JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡主要特點有：應用了浸沒式肖特基電子槍技術的電子光學系統；利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測器在低加速電壓下能進行高分辨觀察和選擇信號的TTLS系統（Through-The-Lens System）；電磁場疊加的混合式物鏡。

捷歐路JEOL JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡的浸沒式肖特基場發射電子槍為日本電子的技術，通過對電子槍和低像差聚光鏡進行優化，能有效利用從電子槍中發射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細的束斑。因而可以實現高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。TTLS（through-the-lens系統）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進行高分辨率觀察和信號選擇的系統。利用GB（Gentle Beam 模式）通過給樣品加以偏壓，對入射電子有減速、對樣品中發射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。

此外，利用安裝在TTLS的能量過濾器過濾電壓，可以調節二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過濾電壓用UED沒有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD，選配件）檢測出來，因此JSM-7200F能同時獲取二次電子像和背散射電子像。

捷歐路JEOL JSM-7200F 熱場發射掃描電子顯微鏡的物鏡采用了本公司新開發的混合式透鏡。

這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場疊加型物鏡，比傳統的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以觀察和分析磁性材料樣品。

分辨率	JSM-7200F	JSM-7200FLV
	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)	1.0 nm(20kV)，1.6 nm(1kV)，1.8nm (30kV, LV )
放大倍率	×10～×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30～×3,000,000(1280 x 960pixels display);
加速電壓	0.01kV～30kV
束流	1pA～300nA
自動光闌角控制透鏡ACL	內置
大景深模式	內置
檢測器	高位檢測器(UED)、低位檢測器(LED)
樣品臺	5軸馬達驅動樣品臺
樣品移動范圍	X：70mm Y：50mm Z：2mm～41mm 傾斜－5～＋70° 旋轉360°
低真空范圍	-	10pa～300pa