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山東東南儀誠實驗室設備有限公司
■操作性功能●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型,發生器自動匹配,無需調節反射波,進一步增加的操作的便捷性
型號 | PDC510 |
等離子模式 | RIE/DP |
電極構造 | 平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max500W |
頻率 | 13.56MHz |
控制?顯示 | 液晶觸摸屏 |
反應室尺寸 | W500 x D300 x H200mm |
電極尺寸 | W400 x D200mm |
反應室材質 | 鋁 |
反應氣體 | 2系統(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
反應氣體流量控制 | 聚合控制器 |
真空泵 | 油泵(約500L/分)標配 |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 |
外形尺寸 | W700 x D700 x H1285mm |
重量 | 約 180kg |
電源 | 三相AC200V8A |
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