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微電子研究所KW-4A型旋鈕勻膠機/旋涂儀

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參   考   價: 9000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協議為準

產品型號KW-4A型

品       牌

廠商性質其他

所  在  地

聯系方式:郭經理查看聯系方式

更新時間:2022-11-20 15:27:13瀏覽次數:183次

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產品簡介

微電子研究所KW-4A型旋鈕勻膠機/旋涂儀

詳細介紹

微電子研究所生產的KW-4A型勻膠機

適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A、KW-4T和KW-5型。 

 產品主要特點 

1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。 

2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定。   

3、采用雙轉速。在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動轉換到高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。 

4、具有定時功能。  

5、測速采用光電的辦法,產生光電脈沖,由晶體分頻測速準確性高。  

6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,適合流水線的工藝,提高了效率。   

7、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音低。 

> 參數:手動旋鈕控制 
        > 基片尺寸φ5-100mm圓片、100x100mm2方片 
        > 轉速:500-8000轉/分 
        > 顯示轉速穩定度:±1%,膠的均勻性±1% 
        > 勻膠階段:2段 
        > 勻膠時間:Ⅰ速0~18S,(0~60S);Ⅱ速0~60S,(0~180S) 
        > 電機功率:40W 
        > 整機尺寸(長寬高):210mm×260mm×275mm 
        > 適用材料:硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

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