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等離子清洗機刻蝕

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更新時間：2024-05-03 08:36:47瀏覽次數：482次

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產品簡介

等離子清洗機刻蝕KT-S2DQX，采用高純石英腔體，150W，13.56MHz，觸摸屏控制。桌面式儀器，操作簡單

詳細介紹

等離子清洗機刻蝕KT-S2DQX應用領域：光學器件、電子元件、半導體元件、激光器件、鍍膜基片、終端安裝等的超清洗。清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質，去除金屬材料表面的氧化物。清洗半導體元件、印刷線路板、ATR元件、人工晶體、天然晶體和寶石。清洗生物芯片、微流控芯片、沉積凝膠的基片。高分子材料表面的修飾。封裝領域中的清洗和改性，增強其粘附性，適用于直接封裝及粘和。改善粘接光學元件、光纖、生物醫(yī)學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

等離子清洗機刻蝕KT-S2DQX

供電電源	AC220V（AC110V可選)
工作電流	整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率	150W
射頻頻率	13.56MHz
頻率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50歐姆，手動匹配
耦合方式	電容耦合
真空度	≤100Pa
腔體材質	高純石英
腔體容積	2L(內徑110MMX深度220MM)
觀察窗內徑	Φ65
氣體流量	10—100ml/min（其他量程可選）
過程控制	過程手動控制
清洗時間	手動開關
開蓋方式	鉸鏈側開式法蘭
外形尺寸	400x380x360mm
重量	23Kg
真空室溫度	小于65°C
冷卻方式	強制風冷
標配	KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網匣1個，電源線一根，說明書一本。