主要特點
一、此設備的高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發熱元件的壽命，測溫元件采用 K 型熱偶。30段可編程控溫，PID參數自整定，操作界面為10寸工控電腦，內置PLC控制程序，可將溫控系統、滑軌爐滑動（時間和距離）設定為程序控制。同時系統設置了超溫、 欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經驗的要求，關鍵電氣元件采用優質的進口產品，做到高性能、免維護，提高了設備質量的可靠性。
二、PECVD是借助于輝光放電等方法產生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應，從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式,低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優點，工藝流程簡單。
技術參數
設備整體結構 | |
加熱原件 | 電阻絲 |
額定電壓 | AC220V/380V 50/60HZ |
功率 | 7KW |
Z高溫度 | 1200℃ |
爐管尺寸 | 外徑Φ60*2330mm |
加熱區長度 | 230+230+230mm |
控溫方式
| 模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制。 觸屏操控界面 |
設備重量 | 約300KG |
三溫區滑軌爐 | |
加熱區長度 | 230mm+230mm+230mm |
爐管長度 | Φ60*2330mm 壁厚3mm |
控溫精度 | ±1°C |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調節，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
密封方式 | 不銹鋼真空法蘭密封 |
射頻電源 | |
信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 5W-500W |
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female |
功率穩定度 | ±0.1% |
諧波分量 | ≤-50dbc |
冷卻方式 | 強制風冷 |
真空部分 | |
真空泵 | DRV-16 |
泵抽速 | 16m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
環保在線