當前位置：重慶開衡科技有限公司>>PECVD系統>> 銅銦鎵硒太陽能薄膜電池專用爐 實驗室臭氧發生機
主要特點
這是一款針對太陽能硒化設計的專用爐，爐體上端腔體可以實現離子增強硒化功能，利用上下腔體內的壓差實現硒化氣體均勻擴散乘積在基體表面。上腔體溫度調節范圍50-600度，等離子強度0-500W可調，下腔體0-800度可調。可以定制下腔體連續工作。
技術參數
功率 | 上爐體：1.5kw |
下爐體：5kw | |
射頻功率 | 0-500W可調 |
爐膛尺寸 | 上腔體：100*100*100mm |
下腔體：240*300*100mm | |
爐膛溫度 | 上腔體：50-600度可調 |
下腔體：50-800度可調 | |
重量 | 220Kg |
外型尺寸 | 1200*900*1600mm |
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智能型雙溫區等離子化學氣相沉積系統(型號：BTF-1200C-II-A
主要特點：一、此設備的高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經典的閉環負反饋控 |
三溫區智能型等離子體化學沉積系統（BTF-1200C-III-500A
主要特點：此款智能型等離子體增強化學沉積系統的高溫真空爐加熱腔體采用進 |
連續進出料等離子體增強回轉設備-BTF-1200C-RP-PECVD
主要特點該款設備是全自動Plasma增強CVD系統（PECVD）請輸入賬號
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