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CVD浮子混氣系統

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產品型號S-1700S-CVD

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更新時間：2022-02-12 10:09:40瀏覽次數：355次

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河南熱處理設備有限公司

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產品簡介

CVD浮子混氣系統適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用

詳細介紹

功能特點：
1、高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成，真空可達0.0001Pa；
2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現負壓的精準控制；
3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計，流量顯示儀等組成，實現氣體的流量的精密測量和控制；每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統的安全性和連續均勻性。
4、采用KF快速法蘭密封，裝卸方便快捷；管路采用世界Swagelok卡套連接，不漏氣；
5、超溫、過壓時，自動切斷加熱電源及流量計進氣，使用安全可靠。
產品用途：
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備，生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復合薄膜等，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用
產品參數