Tetra 830 AL-PC | 兩個(gè)門
開關(guān)柜:寬 600 mm、高 1,700 mm、深 800 mm
腔室:900 mm、高 400 mm、深 2300 mm
門:2 個(gè)(正面 1 個(gè),背面 1 個(gè))
腔室容積:約 830 升
氣體供給:通過 MFC 控制的 1 個(gè)氣體通道
發(fā)生器:1 個(gè) (80 kHz)
控制系統(tǒng):配有工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
自動(dòng)化:本設(shè)備可集成于一條生產(chǎn)線中。