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Diener 等離子表面處儀 Tetra800 羅茨風機

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更新時間:2023-08-13 09:05:07瀏覽次數:206次

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Diener 等離子表面處儀 Tetra800
技術應用鏈接:

Tetra 800 LF-PC | 特殊設備 

開關柜:寬 600 mm、高 1800 mm、深 800 mm

腔室:寬 1250 mm、高 550 mm、深 1120 mm

腔室容積:約 800 升

氣體供給:通過 MFC 控制的 3 個氣體通道

發生器:1 個 (40 kHz)

控制系統:配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)

關鍵詞:
Diener
等離子表面處儀
Tetra800
未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

 

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