技術應用鏈接:
特點：
·適用6寸以下樣品的處理
·用于塑膠材料表面的處理
·配置自動/手動模式，實現控制高機能
·桌上型，省空間
·適合于研究院、高校、研發中心使用
用途：
·表面清洗活化
·表面蝕刻
規格
型號 | ZEPTO RIE | Zepto RIE PCCE |
控制方式 | 按鍵操作控制 | Windows CE 7”觸摸屏操作控制 |
操作方式 | 手動 | 手動/自動 |
程序存儲 | — | 5組 |
工藝過程監控 | — | 二維折線圖與數字實時顯示 |
報錯功能 | — | 顯示詳細的報錯信息 |
工藝氣路 | 雙路 | 單路，雙路 |
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2 | |
流量計 | 針閥流量計 | MFC流量計 |
泄氣氣路 | 一路 | |
真空計 | 指針式/0-10mbar | 數字式/0-9.99mbar |
計時器 | 0-100s 0-1000s(出廠默認) 0-1000s | 0~999.9H |
真空腔體 | 不銹鋼圓形腔體 蓋子門帶觀察窗 尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L | |
電極 | 不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm | |
發生器 | 40kHz 0~100W，13.56MHz 0 ~50 W，13.56MHz 0 ~300 W | |
外形尺寸（WxDxH） | 425 x 450 x 310mm | |
電源 | AC 230 V / 16 A | |
真空泵 | 排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa | |
關鍵詞:
Diener
等離子蝕刻機
ZEPTO RIE
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
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