技術應用鏈接:
特點
· 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理
· 配置自動/手動模式，實現控制高機能
· 經濟型等離子清洗機，小型腔體
· 適合于研究院、高校、研發中心使用
· 操作簡單易使用
技術參數：
型號 | FEMTO A | ||
控制系統 | 手動控制 | ||
工藝氣路 | 單路氣體 | ||
工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | ||
流量計 | 針閥流量計 | ||
單體導入 | H2O，親疏水涂層等單體（選配） | ||
真空 腔體 | 材質 | 高硼硅玻璃/石英，蓋子門帶觀察窗 | 不銹鋼蓋子門帶觀察窗 |
內尺寸(Φ×D) | 95×280mm | 100×278mm | |
容積 | 2L | 2.2L | |
電極 | 360度外置環繞電極 | 平行平板電極 | |
發生器
| 40KHz 0-100W 13.56MHz 0~50W 13.56MHz 0~100W | ||
真空壓力計 | 皮拉尼數字式壓力計（選購） | ||
計時器 | 模擬數字式 | ||
托盤 | 高硼硅玻璃，（石英選配），不銹鋼 | ||
外形尺寸（WXDxH）mm | 345x420（570）x211 | ||
電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
真空泵 | 排氣速度4m3/H | ||
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