技術應用鏈接:
Tetra 3600 PC | 特殊設備
開關柜：寬 2000 mm、高 2000 mm、深 1200 mm
腔室：寬 1500 mm、高 700 mm、深700 mm
處理幅寬：1200mm
卷軸直徑：127mm
卷軸外徑：220mm
腔室容積：約 735升
氣體供給：通過 MFC 控制的 2 個氣體通道
發生器：1 個 (80 kHz)或者13.56MHz 0-3000W
控制系統：配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
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