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2101C型離子減薄儀

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更新時間:2022-01-07 13:57:24瀏覽次數:224次

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產品簡介

產品描述:我公司生產經銷的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡(TEM)研制的樣品制備設備

詳細介紹

產品描述:
我公司生產經銷的2101T系列離子減薄儀是專為透射電子顯微鏡(TEM)研制的樣品制備設備。 適用于金屬、陶瓷及半導體等固體材料的TEM樣品的減薄與拋光。 其由小角度樣品旋轉系統(Small incidence angle specimen rotation system, SIASRS)()、 高真空系統(High vacuum system, HVS),高壓電源系統(High voltage power system, HVS)、 氣動快速換樣系統(Pneumatic rapid specimen exchanger)()以及高能聚焦離子槍等主要部分組成。
離子減薄儀是TEM(透射電鏡)實驗中制樣的關鍵設備,該設備使氬氣在高壓電場的作用下電離,產生高能離子束, 并通過高壓電場加速,使氬離子加速并聚焦成小于1mm直徑的離子束,經過聚焦的離子束對樣品表面進行鏟磨拋光, 使樣品的厚度逐漸減小,從而達到均勻減薄樣品的目的。

 

產品特點:
1.樣品臺旋轉穩定,對離子束無遮擋。
2.離子束掠射角小,樣品薄區大。
3.系統結構緊湊,樣品減薄速度高。
4.樣品臺導熱性能好。

 

主要技術指標:
1.電源:1.2kW AC 220V – 240V 50Hz
2.氣源:>0.1 MPa 氬氣(Ar)
3.高壓電源:0 – 20kV (連續可調,短路保護)
4.離子束電流:0 – 2mA
5.離子束掠射角:0 –90°(雙面)
6.自動保護:高壓電源系統,樣品旋轉系統。
7.抽真空速率:分子加速泵 67L/min,前置泵組 150L/min
8.樣品尺寸:3mm 直徑
9.樣品減薄速率:40μm/h(Cu)

 

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