臺式
組成：
真空系統：一般采用機械泵與分子泵聯動
電子槍：一般為CeB6（ 六硼化鈰）或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，CeB6燈絲壽命超過1500小時，且亮度更高。目前尚沒有采用 場發射（Field Emission）的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器： 背散射電子或二次電子探測器，可選配EDS
特點：
放大倍數高（相對光學顯微鏡）
成像速度快
大景深
體積小巧
操作簡便
價格便宜
應用：
臺式掃描電鏡可以滿足絕大多數傳統SEM用戶的需求，其應用領域極其廣泛，包括：粉末、金相、制藥、造紙、半導體、微電子、生命科學 ……
環保在線