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更新時(shí)間：2021-08-19 13:41:05瀏覽次數(shù)：318次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線SOLLAS是WOP專門為硅基太陽能電池行業(yè)開發(fā)的激光加工機(jī)床，配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器，具有多任務(wù)操作功能，用于工業(yè)和研究，產(chǎn)能3MW/a。光伏電池激光加工優(yōu)勢(shì)：·晶圓更薄·破損率更低·精密深度控制·飛秒激光冷加工·參數(shù)調(diào)整，促進(jìn)生產(chǎn)開發(fā)·選擇性刻蝕（根據(jù)不同材料控制能量傳遞）產(chǎn)品特點(diǎn)：&midd
SOLLAS是WOP專門為硅基太陽能電池行業(yè)開發(fā)的激光加工機(jī)床，配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器，具有多任務(wù)操作功能，用于工業(yè)和研究，產(chǎn)能3MW/a。
光伏電池激光加工優(yōu)勢(shì)：
· 晶圓更薄
· 破損率更低
· 精密深度控制
· 飛秒激光冷加工
· 參數(shù)調(diào)整，促進(jìn)生產(chǎn)開發(fā)
· 選擇性刻蝕（根據(jù)不同材料控制能量傳遞）
產(chǎn)品特點(diǎn)：
· 工業(yè)研究生產(chǎn)線產(chǎn)量2.5 MW/a
· 飛秒紫外和納秒紅外激光源
· 機(jī)器視覺系統(tǒng)探測(cè)旋轉(zhuǎn)和調(diào)整激光掃描區(qū)域
· 使用高性能掃描振鏡精細(xì)激光束控制
· 5”和6”晶圓加工
· 生產(chǎn)模式下直觀的觸摸屏用戶使用界面（SCA工程設(shè)計(jì)）
· 研究模式下全功能軟件（SCA工程設(shè)計(jì)）
SOLLAS 執(zhí)行4項(xiàng)工藝：
· 選擇性刻蝕SiNx/SiO2
· 后觸點(diǎn)激光燒制
· 邊緣絕緣處理
· 激光標(biāo)刻
· 可行性測(cè)試后整合其他加工過程
1. 型太陽能電池激光刻槽機(jī)使用飛秒紫外激光光源對(duì)SiNx/SiO2選擇性刻蝕。這種超精確刻蝕SiNx層的工藝對(duì)Si層的影響（直接或熱效應(yīng)）最小，不但延長了載流子壽命而且可以避免微裂紋。
2. 納秒紅外光纖激光器執(zhí)行其他三個(gè)過程，在提高加工速度方面有巨大優(yōu)勢(shì)。
3. 自動(dòng)硅片傳送和掃描系統(tǒng)支持5″ 和6″直徑晶體硅硅片。
4. 綜合機(jī)器視覺系統(tǒng)和調(diào)整激光束掃描場(chǎng)的能力保證了高重復(fù)性和可靠性。
5. 系統(tǒng)配置一個(gè)一級(jí)激光安全罩和保證激光無塵工作環(huán)境的綜合除塵系統(tǒng)。
6. 使用擁有生產(chǎn)和研發(fā)模式的靈活的，友好的軟件ALTSE-SCA控制系統(tǒng)。
應(yīng)用舉例：
晶圓加工
使用UV飛秒激光脈沖刻蝕單晶圓上SiNx
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