INFICON 皮拉尼電容膜片真空計(jì) (PCG55x) 將 INFICON 陶瓷電容膜片傳感器技術(shù)(CDG)與皮拉尼的優(yōu)點(diǎn)綜合在單個(gè)產(chǎn)品中,測(cè)量范圍在 10 毫巴與大氣壓之間, 電容膜片技術(shù)為可靠的壓強(qiáng)測(cè)量提供與氣體類(lèi)型無(wú)關(guān)的高精確測(cè)量值。 PCG55x 還具有各種特點(diǎn), 是各種高要求真空測(cè)量應(yīng)用中的理想選擇。
CDG采用直接測(cè)量單位面積力的原理,避免了過(guò)程時(shí)間的延遲。這個(gè)精度與響應(yīng)時(shí)間的改進(jìn)消除了在抽空和放空過(guò)程中的過(guò)沖現(xiàn)象。INFICON的皮拉尼技術(shù),在傳感器的整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)產(chǎn)生優(yōu)異的響應(yīng)時(shí)間特性,提高產(chǎn)量和生產(chǎn)率。
優(yōu)點(diǎn)
■ 10 毫巴以上與氣體類(lèi)型無(wú)關(guān) – 允許用任何混合氣體安全放空
■ 在大氣壓下高精度和重復(fù)性 – 用于可靠的大氣壓強(qiáng)檢測(cè)
■ 快速大氣壓檢測(cè) – 無(wú)需等待時(shí)間和縮短過(guò)程周期
■ 任意的安裝方位 – 提供工具結(jié)構(gòu)的工程自由度
■ 配有鎢 (PCG550) 或鎳 (PCG552) 燈絲或全陶瓷涂覆的 (PCG554) 傳感器單元用于高腐蝕性的應(yīng)用中
■ 易于更換插頭和將傳感器單元用于機(jī)載校準(zhǔn)數(shù)據(jù) – 保證高度再現(xiàn)性和低的擁有成本
■ 合格的輸出訊號(hào), 便于集成
■ 可選的大氣壓開(kāi)關(guān), 顯示器和數(shù)字接口
■ 全部型號(hào)有診斷口
用途
■ 自鎖控制
■ 前級(jí)真空壓強(qiáng)測(cè)量
■ 真空系統(tǒng)中的安全回路
■ 在中和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制