簡(jiǎn)單介紹 

 INFICON的 Pirani 標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì) PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅(jiān)固耐用小型管殼內(nèi)的*的Pirani技術(shù)。溫度補(bǔ)償保障了快速與穩(wěn)定的真空測(cè)量結(jié)果，并消除了對(duì)大氣壓強(qiáng)反應(yīng)慢的問題. 堅(jiān)固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導(dǎo)體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級(jí)真空管道中.

特點(diǎn)： 

■ 占空間小

■ 任何方位安裝

■ 不銹鋼測(cè)量單元的金屬密封饋入件

■ 化的溫度補(bǔ)償

■ 易于集成的對(duì)數(shù)訊號(hào)輸出

■ 至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件

■ 烘烤型在法蘭處可達(dá)到250 °C

■ 易于更換的傳感單元

應(yīng)用： 

■ 控制高真空電離真空計(jì)

■ 前級(jí)真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)

■ 真空系統(tǒng)中的安全電路

■ 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量與控制