【產品簡介】
centrotherm c.VERTICOO Mini是一種為研發與小批量生產熱加工而設計的獨立微批量晶圓加工設備。的工藝腔體與加熱系統能夠在1100°C的高溫下運轉。商先創公司的c.VERTICOO Mini加熱爐由于加工批量小，因此具有高度的靈活性，適合所有的標準大氣壓與低壓加工。這一結構的限度加工批量為50片晶圓，從而降低了客戶的開發成本。商先創公司的設計具有性能高、占地面積小、擁有成本低的突出優點，同時具有許多半導體器件制造工序所要求的高度的加工靈活性。c.VERTICOO Mini 可根據需要加設薄晶圓裝卸裝置。
【適用工藝】
·大氣壓加工
·退火
·氧化
·擴散
·LPCVD
·PECVD
【主要應用】
·MOS
·VCSEL
·雙極型晶體管
·分立式半導體
·功率半導體
·MEMS
·光電子器件
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