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Trymax NEO2400系列自動干法去膠

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更新時(shí)間：2021-06-30 08:33:46瀏覽次數(shù)：346次

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Trymax NEO2400系列自動干法去膠
【主要應(yīng)用】
 
前道：Light Etching；Descum strip；PR Ashing；離子注入后，光刻后，鍍膜前等工藝過程；
后道/*封裝/3D IC：Descum Bumping；Plasma Treatment；Wafer Cleaning等。
 
【主要參數(shù)】
 
? Cassette或集成SMIF
? 4軸機(jī)械手搭配X移動
? 單射頻源配置（13.56MHz）
? 單微波源配置（2.45GHz）
? 雙源配置（RF/MW）
? DCP雙源（RF/RF）
? 適應(yīng)wafer 100mm~200mm
 

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