產品簡介：
ULVAC ei-5z系列高真空蒸發鍍膜設備是一款可同時安裝電子束蒸發和熱蒸發源的多功能蒸發臺，可用于各種金屬、合金、非金屬蒸發鍍膜，可做垂直入射蒸發工藝，可做穿墻式設計，采用全自動控制，穩定，高效。
主要技術參數：
·適用于2-8inch各種形狀的Si、GaAs、玻璃陶瓷等基板；
·采用低空泵，可在20min內達到3.0*10-4Pa，極限壓強可達3.0*10-5Pa或更低；
·采用電子束或熱蒸發源，擋板共用；
·膜厚均勻性好于±5%；
暫無信息 |
當前位置：亞科電子（包括亞科電子（香港）有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等）>>微納加工中心>> ULVAC ei-5z系列蒸發臺
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主要技術參數：
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