全自動減薄機GR-6110

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更新時間：2024-04-09 12:46:13瀏覽次數：130次

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格潤智能裝備（深圳）有限公司

經營模式：生產廠家

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產品簡介

技術特點●同時支持深切緩進給(Creep--Feed)和軸向進給(In-Feed)磨削原理;●可選配全自動上下料系統，設備可由自動減薄設備變為全自動減薄設備;●GPP行業應用優勢明顯;●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圓UPH可達360pcs/h;●節省空間的設計，占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比

詳細介紹

技術特點
●同時支持深切緩進給(Creep- -Feed)和軸向進給(In- Feed)磨削原理;
●可選配全自動上下料系統，設備可由自動減薄設備變為全自動減薄設備;
●GPP行業應用優勢明顯;
●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圓UPH可達360pcs/h;
●節省空間的設計，占地面積僅為1.01m,兼顧小型化及高性能比。

性能指標

自動減薄機		GR-6110
加工物尺寸		Φ156mm
主軸	主軸數量	1
	輸出功率	7.5KW
	轉速	1000-6000rpm
Z軸	行程	120mm
	進給速度	0.00001~0.08mm/s
	返回速度	50mm/s
	分辨率	0.1pm
承片臺數量		4 (可定制)
工作臺轉速		0-20rpm
減薄精度	片內厚度偏差	<5μm
	片間厚度偏差	<±5μm
	表面粗糙度Ra	<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
測量儀	測量范圍	不適用
	分辨率
	重復精度
其他規格	夕卜形尺寸(WxDxH)	750mmx1350mmx1750mm
其他規格	設備重量	≈2000 kg