高分辨率表層缺陷超聲波掃描顯微鏡系統(tǒng)

KSI Nano型超聲波掃描顯微鏡是擁有高分辨率的聲學(xué)顯微成像系統(tǒng)，它能對(duì)實(shí)測(cè)器件的表層缺陷作超高分辨缺陷檢測(cè)。

在使用100MHz——2000MHz的超高頻超聲波時(shí)，這種分辨率得以實(shí)現(xiàn)。

KSI nano 還包含一個(gè)倒置光學(xué)顯微鏡，在進(jìn)行超聲波檢測(cè)前可利用它調(diào)整樣品的位置。

高分辨率表層缺陷超聲波掃描顯微鏡系統(tǒng)還應(yīng)用于世界各地的生命和物質(zhì)科學(xué)研究。

- 換能器頻率范圍：100MHz——2000MHz頻率實(shí)現(xiàn)高分辨率
- 探測(cè)深度<100nm
- 特殊平均模式使信噪比更好
- 同步光學(xué)成像和超聲波成像使樣品在結(jié)構(gòu)上、生物化學(xué)性能上和機(jī)械性能上具有關(guān)聯(lián)性。
- 光聲效應(yīng)增強(qiáng)了對(duì)比性
- 放大倍數(shù)：1000倍
- 入射光顯微鏡和倒置光學(xué)顯微鏡可調(diào)節(jié)

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