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在集成電路封裝過程中,芯片表面的氧化物和顆粒污染物會降低產品質量。如果在封裝過程中,在加載、引線鍵合和塑料固化之前采用等離子清洗機進行處理,可以有效去除這些污染物。
等離子清洗機(Plasma Cleaner)又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合,通過等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂
等離子清洗機特點是可以處理一些基底類型,金屬、半導體、氧化物、有機物、大部分高分子材料也可以處理好,只需要很低的氣體流速,就可以清洗整體、局部、復雜的結構。
集成電路IC封裝中,表面污染物去除,等離子清洗機的技術作用,等離子清洗機不使用化學溶劑,所以基本沒有污染物,有利于環保。此外,生產成本低,清洗均勻性、重復性和可控性好,易于實現批量生產。