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等離子清洗機可有效去除物體表面有機污染物和氧化物。等離子清洗設備可以處理各種各樣的材質,無論是金屬、半導體、氧化物,還是高分子材料都可以使用等離子體清洗機來處理。
等離子清洗機是干式低溫的處理設備,特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗;主要特點:任何濕洗法清洗,表面都會有殘留,只有低溫等離子體清洗機表面處理才能做到*的凈化,得到超高潔凈度的表面,且低溫等離子體只對材料納米級的表面起作用,不會改變材料原有的特性,在對表面潔凈度要求較高的工藝中,正在取代濕法處理工藝而得到廣泛使用。
等離子清洗機的處理機理:主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。氣體被激發為等離子態;重粒子撞擊固體表面;電子與活性基團與固體表面發生反應解析為新的氣相物質而脫離表面。