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干式的等離子體清洗設備與倒裝芯片封裝相輔相成,成為提高其產量的重要幫助。通過對芯片以及封裝載板采取等離子體清洗機處理,不僅可以獲得超潔凈的焊接表面,還可以很大程度上提升焊接表面的活性,有效防止虛焊以及減少空洞,提高填充料的邊緣高度和包容性,改善封裝的機械強度,減低因不同材料的熱膨脹系數而在界面間形成內應的剪切力,增強產品可靠性以及提升使用壽命。
等離子體清洗機在處理晶圓表面光刻膠時,等離子體表面清洗能夠去除表面光刻膠和其余有機物,也可以通過等離子活化和粗化作用,對晶圓表面進行處理,能有效提高其表面浸潤性。相比于傳統的濕式化學方法,等離子體清洗機干式處理的可控性更強,一致性更好,并且對基體沒有損害。
等離子體清洗機目前廣泛應用在電子,通信,汽車,紡織,生物醫藥等方面。如電子產品中,芯片支架處理LCD/LED屏的涂覆處理、PC塑膠框粘結前處理,機殼及按鍵等結構件的表面噴油絲印、PCB表面的除膠除污清潔、鏡片膠水粘貼前的處理、電線、電纜噴碼前的處理,汽車工業車燈罩、剎車片、車門密封膠條的粘貼前的處理;機械行業金屬零部件的細微無害清潔處理,玻璃基板表面處理,鏡片鍍涂前的處理,各種工業材料之間接合密封前的處理,三維物體表面的改性處理等。各種印刷前、粘接前表面處理(COG、FOG、W/B等)塑料產品表面處理,攝像頭模組處理