日韩午夜在线观看,色偷偷伊人,免费一级毛片不卡不收费,日韩午夜在线视频不卡片

煙臺(tái)金鷹科技有限公司

初級(jí)會(huì)員·6年

聯(lián)系電話

13573547231

您現(xiàn)在的位置: 首頁> 技術(shù)文章 > 晶圓等離子清洗機(jī)芯片固晶前PAD等離子處理刻蝕設(shè)備
初級(jí)會(huì)員·6年
聯(lián)人:
劉少美
話:
86-0535-8236617
機(jī):
13573547231
址:
招遠(yuǎn)招金路
網(wǎng)址:
www.dajinying.com

掃一掃訪問手機(jī)商鋪

晶圓等離子清洗機(jī)芯片固晶前PAD等離子處理刻蝕設(shè)備

2021-3-1  閱讀(2218)

分享:
晶圓(Wafer)清洗分為濕法清洗和干法清洗,等離子清洗屬于后者,主要是去除晶圓表面肉眼看不到的表面污染物。其清洗過程就是先將晶圓放入等離子清洗機(jī)的真空反應(yīng)腔體內(nèi),然后抽取真空,達(dá)到一定真空度后通入反應(yīng)氣體,這些反應(yīng)氣體被電離形成等離子體與晶片表面發(fā)生化學(xué)和物理反應(yīng),生成可揮發(fā)性物質(zhì)被抽走,使得晶圓表面變得清潔并具親水性。1 清洗晶圓的等離子清洗機(jī)1-1 等離子清洗晶圓是在千級(jí)以上的無塵室中進(jìn)行的,對(duì)particle的要求*,任何超標(biāo)的particle存在,都會(huì)造成晶圓不可挽回的缺陷。所以設(shè)計(jì)等離子清洗機(jī)的腔體首先一定要是鋁質(zhì),而不是不銹鋼材質(zhì);擺放晶圓的托架滑動(dòng)部分,要盡量采用不容易產(chǎn)生粉塵和被等離子腐蝕的材料;電極和托架方便拆卸,便于日常維護(hù)。1-2 等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔體內(nèi)的電極間距和層數(shù),以及氣路分布,對(duì)于晶圓處理的均勻性都重大的影響,這些指標(biāo)都需要不斷試驗(yàn)來優(yōu)化。1-3 等離子清洗晶圓的過程中,會(huì)產(chǎn)生一定的熱量累積,處于工藝的需要,維持電極板的溫度在一定范圍是必要的,所以通常會(huì)給等離子清洗機(jī)的電極加上水冷。1-4 多層電極的等離子清洗機(jī)產(chǎn)能比較高,可以根據(jù)需要每一層托架上擺放多片晶圓,比較適合于半導(dǎo)體分立器件、電力電子元器件4寸及6寸晶圓的光刻底膜去除等。2 晶圓級(jí)封裝前處理的等離子清洗機(jī)2-1 晶圓級(jí)封裝(WLP,Wafer Level Package)是芯片封裝方式之一,即整片晶圓生產(chǎn)完成后,直接在晶圓上面進(jìn)行封裝和測(cè)試,然后把整個(gè)晶圓切割開來分成單顆晶粒;電氣連接部分采用用銅凸塊(Copper Bump)取代打線(Wire Bond)的方法,所以沒有打線或填膠工藝。2-2 晶圓級(jí)封裝前處理的目的是去除表面的無機(jī)物,還原氧化層,增加銅表面的粗糙度,提高產(chǎn)品的可靠性。2-3 晶圓級(jí)封裝前處理的等離子清洗機(jī)由于產(chǎn)能的需要,真空反應(yīng)腔體、電極結(jié)構(gòu)、氣流分布、水冷裝置、均勻性等方面的設(shè)計(jì)會(huì)有顯著區(qū)別。2-4 芯片制作完成后殘余的光刻膠無法用濕式法清洗,只能通過等離子的方式進(jìn)行去除,然而光刻膠較厚無法確定,所以需要去調(diào)整相應(yīng)的工藝參數(shù)。

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標(biāo)簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~
產(chǎn)品對(duì)比 二維碼 在線交流

掃一掃訪問手機(jī)商鋪

對(duì)比框

在線留言
主站蜘蛛池模板: 天峻县| 天等县| 和顺县| 米脂县| 林芝县| 平遥县| 革吉县| 花莲县| 漳浦县| 呈贡县| 四平市| 田东县| 香港| 宝坻区| 怀化市| 雷山县| 且末县| 屯门区| 普定县| 邓州市| 新民市| 库伦旗| 虞城县| 五原县| 民丰县| 宣武区| 河池市| 噶尔县| 泌阳县| 怀来县| 玉树县| 望都县| 临江市| 绍兴市| 乌兰浩特市| 盐池县| 蓝山县| 哈尔滨市| 侯马市| 花莲县| 淳化县|