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武漢賽斯特精密儀器有限公司
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產(chǎn)品型號(hào)Pluto-30
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地武漢市
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更新時(shí)間:2021-03-23 14:29:09瀏覽次數(shù):683次
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Pluto-30 等離子清洗機(jī)Pluto30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶比的靈活性。
Pluto-30 等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
Pluto30是專為研發(fā)而設(shè)計(jì)的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)電源在整個(gè)過(guò)程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達(dá)7個(gè)可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設(shè)置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴(kuò)大了該系統(tǒng)的應(yīng)用范圍,提供給用戶比的靈活性。
Pluto-30 等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品特點(diǎn):
利氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
*的射頻系統(tǒng)提供越的工藝重復(fù)性和處理效率
全自動(dòng)處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動(dòng)流程并提供實(shí)時(shí)流程信息
臺(tái)式設(shè)計(jì)需要較小的占地面積
技術(shù)參數(shù):
應(yīng)用領(lǐng)域:
實(shí)用案例:微型電路板去膠
檢測(cè)設(shè)備:金相顯微鏡 (放大40倍) 實(shí)驗(yàn)設(shè)備:Pluto-30等離子表面處理機(jī)
線路板上,有明顯殘膠存在
氧氣,功率200W,殘膠已*清除
典型應(yīng)用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性:預(yù)壓模粘合;預(yù)焊線粘合
增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性:預(yù)成型;預(yù)倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應(yīng)力,改善表面粘結(jié)性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)
電介質(zhì)/III-IV材料
納米涂層(配備液體前體輸送裝置)
耐水納米涂層:印刷電路板表面處理
防腐納米涂層:科研,醫(yī)療植入物
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