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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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產品簡介： 實驗室等離子清洗機
| 型號 | 腔體材質 | 電源頻率 | 容量（L） | 功率（W） | 腔體尺寸（LxWxH）mm | 外形尺寸（LxWxH）mm |
| TS-PL02 | 316不銹鋼 | 40KHz/13.56MHz | 2 | 300 | 直徑100*270 | 550*600*400 |
| TS-PL05 | 316不銹鋼 | 40KHz/13.56MHz | 5 | 500 | 直徑150*280 | 660*700*600 |
| TS-PL10 | 316不銹鋼 | 40KHz/13.56MHz | 10 | 600 | 200*200*270 | 660*700*600 |
| TS-SY05 | 石英玻璃 | 13.56MHz | 5 | 300 | 直徑160*240 | 600*420*320 |
實驗室等離子清洗機廣泛地應用于半導體、生物醫療、納米材料、光學電子、平板顯示、航空航天、科研及通用工業領域。
1 等離子體技術在通用工業領域的應用
1.1 電子行業 a. 灌裝：提高灌注物的粘合性灌裝是指通過灌注樹脂來保護電子元件。灌裝前的等離子活化可以確保良好的密封性，減少電流泄露，提供很好的邦定性能。灌裝提供了絕緣性，可防止潮濕、高/低溫、物理及電子應力的影響。它還具有阻燃、減震、散熱的作用； b. 邦定板的清潔：改善打線效果； c. 改善塑膠材料的膠接性能等離子技術很適合處理膠接前的塑料、金屬、陶 瓷、玻璃等材料。在應用中，稀松的邊界膜被去掉， 留下非常清潔的表面。可在原子級別使表面粗糙化， 提供更多的表面結合位置，改善粘合效果。同時，等離子中的活性原子化學性的改變表面在基體材料表 面形成很強的化學鍵。
1.2 醫學診斷 a.活化：改善細胞和生物材料對臨床診斷平臺的粘附性； b.氨化：氨化為聚合物材料提供可結合生物和傳感器分子的結合點；c.其他功能性：改善生物活性分子對細胞培養平臺的選擇性粘合。
1.3 科研 a.微流體器件：微流體裝置需要親水性的表面以 便于分析物可以持續平緩地流經；b.：通過減少蛋白質在導管上粘合來盡量減少原，提高生物相容性；c.藥物輸送：解決藥物粘附在計量腔壁上的問題；d.防止生物污染：提高體內和體外科研的生物相容性。
1.4 光學領域 a.鏡片清洗：去除有機薄膜；b.隱形眼鏡：提高隱形眼鏡的浸潤性； c.光纖：改善光纖連接器的光學傳輸。
1.5 橡膠 a.表面摩擦力：減少密封條和 O 型圈的表面摩擦力； b.粘結：提高粘合劑對橡膠的粘結力，使用等離子體中的離子加速撞擊表面或化學刻蝕來選擇性的改變表面形態，從而提供更多的結合點，提高粘合性。
2 等離子體技術在半導體工業、太陽能以及平板顯示器中的應用
2.1 半導體行業 a.硅片、晶圓制造：光刻膠的去除；b.微機電系統（MEMS）：SU-8 膠的去除；c.芯片封裝：引線焊盤的清潔、倒裝芯片底部填充、改善封膠的粘合效果； d.失效分析：拆裝；e.電連接器、航空插座等。
2.2 太陽能電池：太陽能電池片的刻蝕
2.3 平板顯示 a.ITO 面板的清潔活化；b.光刻膠的去除；c.邦定點的清潔（COG）。
我司生產的小型臺式實驗型等離子清洗機具有外形小巧，結構緊湊，操作簡單易維護等特點，是實驗室科研、小批量生產，小部件納米清洗、表面活化、表面改性的理想選擇，非常適合各大高校科研實驗用。
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