日本東麗toray半導(dǎo)體，電子元件氧氣分析儀介紹-MS-500，LC-450A，LC-450D，LC-860
氧氣表MS-500
- z多可以同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
- 可以顯示從ppm級(jí)到100的多種濃度。
- 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備，真空設(shè)備等上。
- 傳感器是直接插入型（用于真空16/25/40的NW法蘭）
- 特殊涂層應(yīng)用于高度耐用的傳感器，以進(jìn)一步提高耐用性。
MS-500設(shè)備規(guī)格
測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 |
形狀 | 分體式（轉(zhuǎn)換器：壁掛式，傳感器：直接插入式） |
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） |
測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
自動(dòng)范圍 |
重復(fù)性 | 在±0.5％FS 0-1％范圍內(nèi)或更高
±1％FS以下或≤±
0.1ppm大于0-1ppm的0-1％內(nèi)，atm范圍超出保證的濃度 |
測(cè)量點(diǎn)數(shù) | 1-8 |
樣氣條件 | 壓力 | 10 -3至200 KPa（壓力） |
| 流量 | 0.5-5,000 mL / min或0 mL / min（自然擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量） |
| 濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 |
| 溫度 | 0-100℃ |
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
比較氣 | 大氣層 |
記錄儀輸出 | 僅變速箱輸出 |
變速箱輸出 | RS-232C |
報(bào)警輸出 | 沒(méi)有 |
熱身時(shí)間 | 6分鐘以內(nèi) |
尺寸 | MS-500（控制器） | 92（W）x 44（H）x 120（D）（不包括突起） |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 100（W）x 40（H）x 88（D）（不包括突起） |
| 傳感器單元 | SD16NW | 總長(zhǎng)100 mm（感應(yīng)部分Φ11×39，主體部分Φ40×51） |
| | SD25NW | 總長(zhǎng)100mm（感應(yīng)部分Φ11×42，主體部分Φ40×48） |
| | SD40NW | 總長(zhǎng)100 mm（感應(yīng)部分Φ11×41，主體部分Φ40×49） |
大眾 | MS-500（控制器） | 約0.6Kg |
| MS-510（轉(zhuǎn)換器） | 約0.5kg |
| 傳感器單元 | SD16NW | 約0.2Kg |
| | SD25NW | 約0.2Kg |
| | SD40NW | 約0.35Kg |
外部連接 | 真空法蘭之一（NW16、25、40） |
使用電源 | 24VDC±10％ |
氧氣計(jì)LC-450A，LC-450D
可以顯示很寬的濃度范圍，從測(cè)量到的濃度范圍內(nèi)的ppm水平到100。- 改進(jìn)的傳感器耐用性
氧氣傳感器經(jīng)過(guò)特殊處理，以提高其耐用性。 - 交流寬電源AC100-240VAC（LC-450A）
* LC-450D由24V DC驅(qū)動(dòng) - 緊湊且易于安裝
深度比我們的傳統(tǒng)型號(hào)還要短，并且不會(huì)占用太多空間。 - 符合RoHS的產(chǎn)品
- CE標(biāo)志自我聲明產(chǎn)品
EN61010-1：2002，EN61326：+ A3：2003
LC-450A設(shè)備規(guī)格
測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 |
形狀 | 桌面型/面板安裝型 |
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） |
測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動(dòng)范圍 |
重復(fù)性 | 在±1％FS 0-1ppm之內(nèi)，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍 |
取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 |
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 |
| 流量 | 1,000-2,000毫升/分鐘 |
| 濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 |
| 溫度 | 0-50℃ |
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
比較氣 | 大氣層 |
記錄儀
輸出 | 氧氣濃度輸出 | 在4-20mA和0-20mA之間切換（可選0-10V）絕緣，負(fù)載電阻550Ω或更小
記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度 |
| 輸出范圍 | 0-100，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動(dòng)/固定范圍 |
變速箱輸出 | RS-232C |
報(bào)警輸出 | 失敗（設(shè)備錯(cuò)誤） | 1分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作） |
| ALM（濃度警報(bào)） | 2點(diǎn)（H / L） | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作） |
| RDY（預(yù)熱信號(hào)） | 1分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC以下，0.5A以下 · 無(wú)電壓觸點(diǎn)的z小開(kāi)關(guān)容量為12V或更高，并且無(wú)法承受微小的負(fù)載。 |
| MRK（范圍標(biāo)記）輸出 | 2分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC以下，0.5A以下 |
熱身時(shí)間 | 5分鐘以內(nèi) |
尺寸 | 身體 | 210（W）x 134（H）x 300（D）mm（不包括突起） |
大眾 | 約6kg |
氣體
連接口 | 進(jìn)口 | Rc1 / 4 |
| 旁路輸出 | Rc1 / 4 |
| 出口 | Rc1 / 4 |
使用電源 | 100-240VAC，50VA（穩(wěn)定：35VA）50Hz / 60Hz |
LC-450D設(shè)備規(guī)格
測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 |
形狀 | 桌面型/面板安裝型 |
顯示方式 | 4位數(shù)字顯示（密度顯示） |
測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0 ATM自動(dòng)范圍 |
重復(fù)性 | 在±1％FS 0-1ppm之內(nèi)，大氣壓范圍超出了保證的濃度范圍 |
取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 |
樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 |
| 流量 | ?1,500L /分鐘 |
| 濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 |
| 溫度 | 0-50℃ |
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
比較氣 | 大氣層 |
記錄儀
輸出 | 氧氣濃度輸出 | 0-10VDC，絕緣，負(fù)載電阻600kΩ或更高
（選件：4-20mA DC，絕緣，負(fù)載電阻550Ω或更低）
記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度 |
| 輸出范圍 | 0-100，0-1000ppm，0-100ppm，0-10ppm自動(dòng)/固定范圍 |
變速箱輸出 | RS-232C |
報(bào)警輸出 | 失敗（設(shè)備錯(cuò)誤） | 1分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
設(shè)備異常導(dǎo)致接點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作） |
| ALM（濃度警報(bào)） | 2點(diǎn)（L / LL） | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（可以更改接點(diǎn)操作） |
| RDY（預(yù)熱信號(hào)） | 1分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC或以下，0.5A或以下
在預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作） · 非電壓觸點(diǎn)的z小開(kāi)關(guān)容量為12V或20mA或更高，并且無(wú)法承受微小的負(fù)載。 |
| MRK（范圍標(biāo)記）輸出 | 2分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量30VDC / AC以下，0.5A以下 |
熱身時(shí)間 | 5分鐘以內(nèi) |
尺寸 | 身體 | 240（W）x 134（H）x 210（D）mm（不包括突起） |
大眾 | 約5kg |
氣體
連接口 | 進(jìn)口 | Rc1 / 8 |
| 旁路輸出 | Rc1 / 8 |
| 出口 | Rc1 / 8 |
使用電源 | 24VDC±10％，1.25A（30VA，穩(wěn)態(tài)） |
氧氣計(jì)LC-860
- 低濃度測(cè)量
可以測(cè)量ppb到100 - 操作簡(jiǎn)便
按功能可輕松操作 - 吹掃功能
比較氣體更穩(wěn)定，測(cè)量更精que（僅適用于具有吹掃功能的規(guī)格） - 高可靠性傳感器傳感器
內(nèi)部還可以進(jìn)行防劣化處理（可選）
LC-860設(shè)備規(guī)格
| 測(cè)量原理 | 氧化鋯輕型電池 |
|---|
| 形狀 | 桌面型/面板安裝型 |
|---|
| 顯示方式 | 6位數(shù)字顯示（密度顯示） |
|---|
| 測(cè)量范圍 | 0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100體積％氧氣2 10 -20?10 -0大氣壓
自動(dòng)/固定范圍 |
|---|
| 重復(fù)性 |
氧氣濃度在±1％FS之內(nèi)且小于1ppm和0-1ppm，大氣壓范圍超出保證的濃度范圍 |
|---|
| 取樣方式 | 內(nèi)置泵的連續(xù)吸入型 |
|---|
| 樣氣條件 | 壓力 | 加壓30 KPa以下 |
|---|
| 流量 | ?1,500mL /分鐘 |
|---|
| 濕度 | 露點(diǎn)低于環(huán)境溫度 |
|---|
| 溫度 | 0-50℃ |
|---|
| 其他 | 不包含腐蝕性氣體（基于氟的氣體，基于氯的氣體，基于硫化物的氣體等），包含有機(jī)硅的氣體，可燃成分（包括氣體），油和水。 |
|---|
| 比較氣 | 大氣層 |
|---|
記錄儀
輸出 | 氧氣濃度輸出 | 4-20mA / 0-10V 4-20mA
：絕緣，負(fù)載電阻為600Ω或更低
0-10V：絕緣，負(fù)載電阻為500Ω或更高
記錄儀輸出范圍為滿量程，線性輸出至氧氣濃度 |
|---|
| 輸出范圍 | 0-100，0-10％，0-1％，0-1000ppm，0-100ppm， 0-10ppm，0-1ppm，10 -20 -10 -0 或自動(dòng)/固定范圍的任 意4個(gè)范圍 |
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| 變速箱輸出 | RS-232C |
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| 報(bào)警輸出 | 失敗（設(shè)備錯(cuò)誤） | 1分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小
由于設(shè)備異常，觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作） |
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| ALM（濃度警報(bào)） | 2分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小，0.1A或更小
發(fā)生警報(bào)時(shí)觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作） |
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| RDY（預(yù)熱信號(hào)） | 1分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC / AC或更小，0.5A或更小
預(yù)熱操作期間觸點(diǎn)閉合（可以更改觸點(diǎn)操作）- 無(wú)電壓觸點(diǎn)的z小開(kāi)關(guān)容量為12V或更高，并且不能
- 承受微小的負(fù)載。
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| MRK（范圍標(biāo)記）輸出 | 3分 | 非電壓接點(diǎn)，接點(diǎn)容量24VDC / AC以下，0.1A以下 |
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| 熱身時(shí)間 | 20分鐘以內(nèi) |
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| 尺寸 | 身體 | 288（W）x 144（H）x 400（D）mm（不包括突起） |
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| 大眾 | 約10kg |
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氣體
連接口 | 進(jìn)口 | Rc1 / 8 |
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| 旁路輸出 | Rc1 / 8 |
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| 出口 | Rc1 / 4 |
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| 使用電源 | 100-120VAC±10％200VA 50Hz / 60Hz的 |
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