“閉環壓力控制"就是指在你的壓力輸出點加一個檢測裝置，將壓力數值與設定值進行比較，比較的結果傳輸給控制裝置，高降低補，保持壓力恒定。

而質量流量控制器(MFC)除了可以測量和控制質量流量，并可以通過調節閥門以增加或減少質量流量的方式而達到調節壓力的設定值。

在控制壓力時，閥門會根據壓力測量值進行調整。假設，您控制 Alicat 下游的壓力并希望達到 100 PSIA，如果此時壓力為 80 PSIA，MFC 將會自動打開閥門，直到壓力達到您的設定值。MFC可以同時控制壓力和測量流速的應用中，這是非常有用的。有些應用場景包括泄漏測試、流量檢查和質量檢查，您必須保持特定的流量與壓力曲線。

Alicat 應用工程師 Alyssa Jenkins 討論了閉環壓力控制的特點

使用 MFC 控制壓力的過程

密閉容器過程控制

我們的雙向質量流量控制器具有三個端口（入口、過程、出口）和兩個閥門（進口流量和排氣）。該裝置可用于控制一個密閉容器的壓力體積，一個閥門調節以增加/減少流量，另一個閥門可在壓力超過設定值時向大氣或真空泵排氣。在控制壓力的同時，可以使用流量累加器來跟蹤流體流動的總量，因此您還可以測量進入容器的每種氣體的質量流量。

校準轉子流量計

轉子流量計測量體積流量，它們被調節在一個非常特定的壓力，以給出質量流量。雖然它們可能以標準升每分鐘 (SLPM) 或標準立方厘米每分鐘 (SCCM) 進行標記，但該質量流量讀數僅在轉子流量計調整好的壓力下有效。另一方面，Alicat 有一個壓力傳感器，可在壓力變化時調整讀數。

Alicat 質量流量裝置可用于控制轉子流量計下游的壓力，同時直接在質量流量計和轉子流量計上測量流量。為此，必須調整 Alicat 的 STP 條件和氣體選擇以匹配轉子流量計。然后可以將 Alicat 上的背壓控制點設置為等于轉子流量計的出口壓力。這創造了一個條件，其中 Alicat 控制轉子流量計的壓力，將 Alicat 標準化為可變面積流量計，然后您可以引入流量來校準轉子流量計。