外型尺寸：
長*寬*高 2080mm*700mm*1520mm
管爐規格：
外徑：100mm
內徑：96mm×長：1800
加熱爐主要參數：
•溫度：1200℃
•額定工作溫度：1100℃
•推薦升溫速率:≤10℃/min
•加熱區長度：L總：440mm（雙溫區包括隔環)
溫區一：200mm
溫區二：200mm
•加熱爐額定功率：3KW
•滑動方式：電動控制
•滑動行程：600mm
•電壓：單相AC 208 - 240V, 50HZ
溫控系統：
•歐陸EPC3000儀表
•模糊PID控制和自整定調節功能
•智能化24段可編程控制
•帶過電流過電壓保護漏電保護
•電氣元件及電纜，冷壓端子均符合UL認證標準
•控溫精度：±0.1℃
•控溫：K型熱電偶兩根
•通訊協議：modbus RTU
軟件控制：
•可視化運行狀態監控
•溫控系統，氣路系統，真空系統，射頻系統，滑動爐體，開合爐體，壓力控制，全自動化，
•數據記錄、過程記錄集成一體
•“預制工作流程，一鍵自動運行
•具有恒壓功能，可以設定氣體流量和恒定壓力
壓力控制：采用TRP-12（抽速3L/s）的雙旋真空泵，在總進氣量為100-150sccm，管內壓力為 100-130pa，如總進氣量高于150sccm時，請更換抽速更高的泵，測試為總進氣量為1L/min（滿足四路質量流量計全開狀態時），使用VRD-60泵（抽速18L/s），真空為120-130pa（滿足起輝條件）,可在任意供氣量下設定任意氣壓值（該氣壓值需大于搭配泵體的真空值），氣壓值可自動穩定
新式快捷法蘭：
可方便快速取放物料
射頻電源：
• 500W射頻電源
•0--500W可調（穩定性±1%）
•射頻頻率：13.56MHZ
•自動匹配 風冷
•噪音<50dB
•輸入電壓：AC108-250V
供氣系統：
•四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）
•流量范圍：一路0-100 sccm
二路0-200 sccm
三路0-200 sccm
四路0-500 sccm
注：接入供氣系統的氣源需搭配減壓閥，將氣壓降至2mpa以下
真空系統：
•搭配TRP-12的雙旋真空泵（抽速3L/s）（總進氣量小于150sccm，該泵可以達到等離子發生真空度）
•搭配TRP-60雙旋真空泵（抽速10L/s）（總進氣量1L/min，該泵可以達到等離子發生真空度）
• KF25卡箍及波紋管用于連接法蘭與真空泵
•真空度可達10-2torr
備注：
注：采用氬氣高于射頻功率200w情況下，需特殊說明，設備需要特殊改造及測試；(有法蘭過熱情況)
