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45.0潔凈室測試主要對象
潔凈室在日常維護中要監測對象:風量或風速檢測、靜壓差的檢測、空氣過濾器泄漏測試、室內空氣潔凈度等級的檢測,室內浮游菌和沉降菌的檢測、室內空氣溫度和相對溫度的檢測等。
B.1 風量或風速的檢測
B.1.1 對于單向流潔凈室,采用室截面均勻風速和截面積乘積的方法確定送風量。 離過濾器0.3m,垂直于氣流的截面作為采樣測試截面,截面上測點間距不宜大于0.6m,測點數不應少于5 個,以所有測點風速讀數的算術均勻值作為均勻風速。
B.1.2 對于非單向流潔凈室,采用風口法或風管法確定送風量,做法如下:
1 風口法是在安裝有過濾器的風口處,根據風口外形連接輔助風管進行丈量。即用鍍鋅鋼板或其他不產塵材料做成與風口外形及內截面相同,長度即是2 倍風口長邊長的直管段,連接于風口外部。在輔助風管出口平面上,按zui少測點數不少于6 點均勻布置,使用熱球式風速儀測定各測點之風速。然后,以求取的風口截面均勻風速乘以風口凈截面積求取測定風量。
2 對于風口上風側有較長的支管段,且已經或可以鉆孔時,可以用風管法確定風量。丈量斷面應位于大于或即是局部阻力部件前3 倍管徑或長邊長,局部阻力部件后5 倍管徑或長邊長的部位。對于矩形風管,是將測定截面分割成若干個相等的小截面。每個小截面盡可能接近正方形,邊長不應大于200mm,測點應位于小截面中心,但整個截面上的測點不宜少于3 個。對于圓形風管,應根據管徑大小,將截面劃分成若干個面積相同的同心圓環,每個圓環測4 點。根據管徑確定圓環數目,不宜少于3 個。
B.2 靜壓差的檢測
B.2.1 靜壓差的測定應在所有的門封閉的條件下,由高壓向低壓,由平面布置上與外界zui遠的里間房間開始,依次向外測定。
B.2.2 采用的微差壓力計,其靈敏度不應低于2.0Pa。
B.2.3 有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室,其洞口處應有公道的氣流流向。洞口的均勻風速大于即是0.2m/s時,可用熱球風速儀檢測。
B.3 空氣過濾器泄漏測試
B.3.1 過濾器的檢漏,應使用采樣速率大于1L/min的光學粒子計數器。
D類過濾器宜使用激光粒子計數器或凝聚核計數器。
B.3.2 采用粒子計數器檢漏過濾器,其上風側應引進均勻濃度的大氣塵或含其他氣溶膠塵的空氣。對大于或即是0.5μm塵粒,濃度應大于或即是3.5×105pc/m 3;或對大于或即是0.1μm塵粒,濃度應大于或即是3.5×107pc/m3;若檢測D類過濾器,對大于或即是0.1μm塵粒,濃度應大于或即是3.5×109pc/m3。
B.3.3 過濾器的檢測采用掃描法,即在過濾器下風側用粒子計數器的等動力采樣頭,放在間隔被檢部位表面20~30mm處,以5~20mm/s的速度,對過濾器的表面,邊框和封頭膠處進行移動掃描檢查。
B.3.4 泄漏率的檢測應在接近設計風速的條件下進行。將受檢過濾器下風側測得的泄漏濃度換算成透過率,過濾器不得大于出廠合格透過率的2倍;D類過濾器不得大于出廠合格透過率的3倍。
B.3.5 在移動掃描檢測工程中,應對計數忽然遞增的部位進行不定點檢驗。
B.4 室內空氣潔凈度等級的檢測
B.4.1 空氣潔凈度等級的檢測應在設計的占用狀態(空態、靜態、動態)下進行。
B.4.2 檢測儀器的選用:應使用采樣速率大于1L/min的光學粒子計算器,在儀器選用時應考慮粒徑鑒別能力,粒子濃度適用范圍和計數效率。儀表應有有效的標定合格證書。
B.4.3 采樣點的規定:
1 zui低限度的采樣點數NL,見表B.4.3;
表B.4.3 zui低限度的采樣點數NL表
測點數NL | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 |
潔凈區面 積A(m2) | 2.1~ 6.0 | 6.1~ 12.0 | 12.1~ 20.0 | 20.1~ 30.0 | 30.1~ 42.0 | 42.1~ 56.0 | 56.1~ 72.0 | 72.1~ 90.0 | 90.1~ 110.0 |
注:1 在水平單向流時,面積A為與氣流方向呈現垂直的活動空氣截面的面積。 2 zui低限度的采樣點數NL=A0.5計算(四舍五進取整數)。 |
2 采樣點應均勻分布于整面積內,并位于工作區的高度(距地坪0.8m的水平面),或設計單位、業主特指的位置。
B.4.4 采樣量的確定:
1 每次采樣的zui少采樣量見表B.4.4
B.4.4 每次采樣的zui少采樣量Vs(L)表
潔凈度 等級 | 粒徑(μm) | |||||
0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 1.0 | 5.0 | |
1 | 2000 | 8400 | — | — | — | — |
2 | 200 | 840 | 1960 | 5680 | — | — |
3 | 20 | 84 | 196 | 568 | 2400 | — |
4 | 2 | 8 | 20 | 57 | 240 | — |
5 | 2 | 2 | 2 | 6 | 24 | 680 |
6 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 68 |
7 | — | — | — | 2 | 2 | 7 |
8 | — | — | — | 2 | 2 | 2 |
9 | — | — | — | 2 | 2 | 2 |
2 每個采樣點zui少采樣時間為1min,采樣量至少為2L;
3 每個潔凈室(區)zui少采樣次數為3次。當潔凈區僅有個采樣點時,則在該點至少采樣3次;
4 對預期空氣潔凈度等級達到4級或更潔凈的環境,采樣量很大,可采用ISO14644—1附錄F規定的順序采樣法。
B.4.5 檢測采樣的規定:
1 采樣時采樣口處的氣流速度,應盡可能接近室內設計氣流速度;
2 對單向流潔凈室,其粒子計數器的采樣管口應迎著氣流方向;對于非單向流潔凈室,采樣管口宜向上;
3 采樣管必須干凈,連接處不得有滲漏。采樣管的長度應根據答應長度確定,假如無規定時,不宜大于1.5m;
4 室內的測定職員必須穿潔凈工作服,且不宜超過3名,并應闊別或位于采樣點的下風側靜止不動或微動。
B.4.6 記錄數據評價。空氣潔凈度測試中,當全室(區)測點為2~9點時,必須計算每個采樣點的均勻粒子濃度Ci值、全部采樣點的均勻粒子深度N及其標準差,導出95%置信上限值;采樣點超過9點時,可采用算術均勻值N作為置信上限值。
1 每個采樣點的均勻粒子濃度Ci應小于或即是潔凈度等級規定的限值見表B.4.6-1。
表B.4.6-1 潔凈度等級及懸浮粒子濃度限值
潔凈度等級 | 大于或即是表中粒徑D的zui大濃度Cn(Pc/m3) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | |
1 | 10 | 2 | — | — | — | — |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | — | — |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | — |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | — |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | — | — | — | 352000 | 83200 | 2930 |
8 | — | — | — | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | — | — | — | 35200000 | 8320000 | 293000 |
注: 1 本表僅表示了整數值的潔凈度等級(N)懸浮粒子zui大濃度的限值。 2 對于非整數潔凈度等級,其對應于粒子粒徑D(μm)的zui大濃度限值(Cn),應按下列公式計算求取。 3 潔凈度等級的粒徑范圍為0.5~5.0μm,用于定級的粒徑數不應大于3個,且其粒徑的順序級差不應小于1.5倍。 |
2 全部采樣點的均勻粒子濃度N的95%置信上限值,應小于或即是潔凈度等級規定的限值。即:式中 N──室內各測點均勻含塵濃度,N=∑Ci/n;
n──測點數;
s──室內各測點均勻含塵濃度N的標準差:
t──置信度上限為95%時,單側t分布的系數,見表B.4.6-2。
表B.4.6-2 t系數
點數 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7~9 |
t | 6.3 | 2.9 | 2.4 | 2.1 | 2.0 | 1.9 |
B.4.7 每次測試應做記錄,并提交性能合格或分歧格的測試報告。測試報告應包括以下內容:
1 測試機構的名稱、地址;
2 測試日期和測試者簽名;
3 執行標準編號及標準實施日期;
4 被測試的潔凈室或潔凈區的地址、采樣點的特定編號及坐標圖;
5 被測潔凈室或潔凈區的空氣潔凈度等級、被測粒徑(或沉降菌、浮游菌)、被測潔凈室所處的狀態、氣流流型和靜壓型;
6 丈量用的儀器的編號和標定證書;測試方式細則及測試中的特殊情況;
7 測試結果包括在全部采樣點坐標圖上注明所測的粒子濃度(或沉降菌、浮游菌的菌落數);
8 對異常測試值進行說明及數據處理。
B.5 室內浮游菌和沉降菌的檢測
B.5.1 微生物檢測方法有空氣懸浮微生物法和沉降微生物法兩種,采樣后的基片(或平皿)經過恒溫箱內37℃、48h的培養天生菌落后進行計數。使用的采樣器皿和培養液必須進行消毒滅菌處理。采樣點可均勻布置或取代表性地域布置。
B.5.2 懸浮微生物法應采用離心式、狹縫式和針孔式等碰擊式采樣器,采樣時間應根據空氣中微生物濃度來決定,采樣點數可與測定空氣潔凈度測點數相同。各種采樣器應按儀器說明書規定的方法使用。沉降微生物法,應采用直徑為90mm培養皿,在采樣點上沉降30min后進行采樣,培養皿zui少采樣數應符合表B.5.2的規定。
表B.5.2 zui少培養皿數
空氣潔凈度級別 | 培養皿數 |
<5 | 44 |
5 | 14 |
6 | 5 |
≥7 | 2 |
B.5.3 制約廠潔凈室(包括生物潔凈室)室內浮游菌和沉降菌測試,也可采用按協議確定的采樣方案。
B.5.4 用培養皿測定沉降菌,用砬撞式采樣器或過濾采樣器測定浮游菌,還應遵守以下規定:
1 采樣裝置采樣前的預備及采樣后的處理,均應在設有空氣過濾器排風的負壓實驗室進行操縱,該實驗室的溫度應為22±2℃;相對濕度應為50%±10%;
2 采樣儀器應消毒滅菌;
3 采樣器選擇應審核其精度和效率,并有合格證書;
4 采樣裝置的排氣不應污染潔凈室;
5 沉降皿個數及采樣點、培養基及培養溫度、培養時間應按有關規范的規定執行。
6 浮游菌采樣器的采樣率宜大于100L/min;
7 碰撞培養基的空氣速度應小于20m/s。
B.6 室內空氣溫度和相對溫度的檢測
B.6.1 根據溫度和相對濕度波動范圍,應選擇相應的具有足夠精度的儀表進行測定。每次測定間隔不應大于30min。
表B.6.1 溫、濕度測點數
波動范圍 | 室面積≤50m2 | 每增加20~50m2 |
△t=0.5±~±0.2℃ | 5個 | 增加3~5 |
△RH=±5%~±10% | ||
△t≤±0.5℃ | 點間距不應大于2m,點數不應少于5個 | |
△RH≤±5% |
B.6.2 室內測點布置:
1 送回風口處;
2 恒溫工作區具有代表性的地點(如沿著工藝設備四周布置或等間隔布置);
3 沒有恒溫要求的潔凈室中心;
4 測點一般應布置在距外墻表面大于0.5m,離地面0.8的同一高度上;也可以根據恒溫區的大小,分別布置在離地不同高度的幾個平面上。
B.6.3 測點數應符合表B.6.1的規定。
表B.6.1 溫、濕度測點數
波動范圍 | 室面積≤50m2 | 每增加20~50m2 |
△t=0.5±~±0.2℃ | 5個 | 增加3~5 |
△RH=±5%~±10% | ||
△t≤±0.5℃ | 點間距不應大于2m,點數不應少于5個 | |
△RH≤±5% |
B.6.4 有恒溫恒濕要求的潔凈室。室溫波動范圍按各測點的各次溫度中控制點溫度的zui大值,占測點總數的百分比整理成累積統計曲線。如90%以上測點偏差值在室溫波動范圍內,為符合設計要求。反之,為分歧格。
區域溫度以各測點中zui低的一次測試溫度為基準,各測點均勻溫度與超偏差值的點數,占測點總數的百分比整理成累計統計曲線,90%以上測點所達到的偏差為區域溫差,應符合設計要求。相對溫度波動范圍可按室溫波動范圍的規定執行。
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