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日立高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡Regulus8100

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日立高分辨冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡Regulus8100是日立冷場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的全新系列,Regulus8100保留了SU8010易維護(hù)、易操作等優(yōu)點(diǎn),進(jìn)一步提高性能,1kV減速模式下分辨率達(dá)到了0.8nm,15kV達(dá)到0.7nm,高低電壓均可滿足高分辨的觀察.

詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)：

1. 配備加速電壓減速功能，優(yōu)秀的低加速電壓成像能力，1kV分辨率可達(dá)0.8nm
2. 日立E×B技術(shù)，無(wú)需噴鍍，可直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配備電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能
4. SE與BSE任意比例搭配功能

樣品：AlTiC基板

加速電壓：1kV

倍率：2萬(wàn)倍

應(yīng)用領(lǐng)域：

1、納米材料；

2、半導(dǎo)體器件；

3、高分子材料；

4、生物醫(yī)學(xué)；

5、新能源。

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