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TESCAN掃描電鏡VEGA 3 SBU - EasyProbe

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產品型號VEGA 3 SBU - EasyProbe

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更新時間:2024-02-16 16:12:20瀏覽次數:198次

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產品簡介

TESCAN掃描電鏡VEGA 3 SBU - EasyProbe是一款掃描電子顯微鏡(SEM)與X-射線能譜儀(EDS)的一體化系統,其具有圖像質量高,自動化程度高,操作簡單,能實時快速進行元素分析等特點.另外,可變真空模式下,用戶可以在自然狀態下觀測不導電樣品.

詳細介紹

特點:

  • SB型號樣品室裝有3軸馬達驅動的樣品臺
  • YAG閃爍體探測器
  • 樣品室有10個接口可用于安裝EDX、EBSD、EBIC等探測器
  • 可選配其他探測器和附件
  • 渦輪分子泵和機械泵同時工作幾分鐘可達到儀器操作需要的真空狀態
  • 在可變真空模式下可觀察非導電的樣品(SBU型號)
  • 利用3D Metrology軟件可以實現3維重構及測量功能

VEGA3 SB-Easyprobe配置

VEGA3 SBH-Easyprobe

高真空型SEM,配備有3軸馬達驅動樣品臺,適用于觀察小型導電樣品。同時可完成元素分析。

VEGA3 SBU-Easyprobe

可變真空型掃描電鏡,體現了高真空模式和低真空模式的優點,可以在不噴金的情況下利用低真空模式直接觀察不導電樣品。同時可完成能譜分析。

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