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上海百賀儀器科技有限公司
TESCAN掃描電鏡S8000G FIB-SEM掃描電鏡的個新成員,是一款超高分辨雙束FIB-SEM系統,它可以提供的圖像質量,具有強大的擴展分析能力,并能以的精度、效率完成復雜的納米加工和操作,可滿足現今工業研發和學術界研究的所有需求.
新一代 Orage™ Ga FIB鏡筒,適用于各類具有挑戰性的納米加工任務
TESCAN S8000配置了的BrightBeam™鏡筒,實現了無磁場超高分辨成像,可以的實現各種分析,
包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設計增強了低能量電子成像分辨率,特別適合對電子束敏感樣品
和不導電樣品的分析。創新的Orage™ Ga FIB鏡筒配有的離子槍和離子光學鏡筒,使得TESCAN S8000G
成為了世界的樣品制備和納米圖形成型的儀器。
S8000G束流可達100nA,具有超快速的加工能力,新穎的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。
S8000G離子能量可達500eV,擁有更優秀的低壓樣品制備能力,可以快速制備無損超薄TEM樣品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件,并實現與TOF-SIMS、Raman一體化。
新一代OptiGIS™氣體注入系統
S8000可配置的多種探測器,包括透鏡內Axial detector 以及 Multidetector,可選擇不同角度和不同
能量來收集信號,體現更多種類的信息,同時獲得更好的表面靈敏度和對比度。S8000G有兩種氣體注入
系統可供選擇,標準的5針-GIS和新一代OptiGIS單針-GIS,單針的OptiGIS支持通過更換氣罐來更換化
學氣體,避免了以往多針氣體注入系統樣品倉內占用空間大的問題。
兩種氣體注入系統均可以選擇多種沉積氣體,其中W、Pt、C等用于導電材料沉積,SiOx用于絕緣材料沉積,
XeF2、H2O等用于增強刻蝕,或其它定制氣體。
新一代Essence操作軟件,更簡單、高效的操作平臺
S8000可配置的多種探測器新操作軟件極大簡化了用戶界面,能快速訪問各主要功能,
減少了繁瑣的下單菜單操作,并優化了操作流程向導,易于學習,兼容多用戶需求,
可根據工作需要定制操作界面。
新穎的樣品艙內3D空間位置和移動軌跡模擬功能,可避免誤操作,造成碰撞。
樣品艙內的3D空間位置和移動軌跡模擬
集成多項創新性設計,拓展新應用領域的利器
S8000可配置的多種探測器S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的成員,集成了BrightBeam™ SEM鏡筒、
Orage™ GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統等多項創新設計,在高分辨能力、原位應用擴展能力和分析擴展能力方面達到了業內水平,
此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗。
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