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光刻機(jī)Mask Aligner

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號MEMA-800

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廠商性質(zhì)代理商

所在地上海市

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更新時(shí)間：2021-05-20 17:32:48瀏覽次數(shù)：850次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  掩模版曝光光刻機(jī)

NXQ系列

Mask Aligner

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  其他品牌

邁可諾技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：59條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：趙先生（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

目標(biāo)分離	15?75毫米

光刻機(jī)分為半自動和全自動兩大系列。MEMA-800是研發(fā)中心和大學(xué)中的微機(jī)開發(fā)。操縱器，壓力傳感器，加速度傳感器，功率設(shè)備等。倒裝芯片/BGA/CSP的暴露。暴露于光學(xué)/高速通信組件中。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)：

1、目標(biāo)分離：15?75毫米；

2、總放大倍率：100倍；

3、觀察照明器：紅色LED（λ= 633 nm）；

4、X，Y平臺移動范圍：±5毫米；

5、θ調(diào)整：±5°

6、主體電源和水銀燈：交流100V 50 / 60Hz 15A

7、真空源：低于21.3 Kpa（大氣壓為-80 Kpa）

8、鏡片：積分鏡

9、汞燈：250W超高壓蒸汽汞燈

10、有效接觸面積：大φ100毫米

11、強(qiáng)度分布：±5％以下

12、照度：20 mW / cm 2 （405納米）

13、曝光時(shí)間控制：數(shù)字計(jì)時(shí)器和旋轉(zhuǎn)螺線管

14、汞燈照明裝置：交流110V

三、產(chǎn)品特點(diǎn)：

經(jīng)濟(jì)，緊湊和高級性能
在視場中查看兩個(gè)對準(zhǔn)標(biāo)記的融合圖像。
用于曝光的積分鏡。
LED照明器

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字：光刻機(jī) 掩膜曝光光刻機(jī) 光刻系統(tǒng) Mask Aligner



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