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邁可諾技術有限公司
尺寸 | 多5英寸高達4英寸(無定形) |
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光刻機分為半自動和全自動兩大系列。MPEM系列是高精度的雙向掩模對準器,在晶片的頂側和底側包括對準光學系統,因此可以與頂側對準對頂側表面進行接觸,軟接觸和接近圖案化。晶片底面上的圖形。掩模和晶圓的準確對準可能是通過高分辨率光學系統實現的,該光學系統的頂部和底部均安裝了對稱排列的10X物鏡。由于可以調成對的物鏡之間的間隔,所以不規則形成的晶片也可以自由地對準。
一、掩膜曝光光刻機Mask Aligner產品簡介:
| MPEM-1600 | MPEM-12M | MPEM-16M | |
光罩尺寸 | 多5英寸 | 多7英寸 | 多9英寸 | |
晶圓尺寸 | 高達4英寸(無定形) | 高達6英寸(無定形) | 高達8英寸(無定形) | |
面罩架滑動 | 手動卡盤 | |||
面具運動 | X =±3毫米,Y =±3毫米 | |||
接觸 | 方法 | 軟接觸/硬接觸/接近暴露 |
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照明 | 250W超高壓蒸氣汞燈 | 500W超高壓蒸氣汞燈 | ||
照明不規則 | ±5% | |||
有效接觸面積 | 直徑100毫米 | 直徑150毫米 | 直徑200毫米 | |
解析度 | 3mµ L / S | |||
對準 | 方法 | 目鏡觀察(精神領域系統) | 9英寸視頻 監控系統 | |
物鏡 | 10X兩對(上/下) | |||
目鏡 | NWF 10X(一對) | -- | ||
總放大倍率 | 100倍 | 200倍 | ||
物鏡分離 | 15?90毫米 | 80?140毫米 | 55?184毫米 | |
聚焦單元 | 手冊 | |||
對準范圍 | X,Y =±4mmθ | X,Y =±4mmθ | ||
對齊間隙 | 09?99微米 | |||
對準精度 | 小于±5mm | |||
實用工具 | 主機電源 | 100-220V AC,50 / 60Hz,15A(600W) | ||
水銀燈電源 | 100-220V AC,50 / 60Hz,15A(550W) | 100-220V,50 / 60Hz,15A(1,100W) | ||
氮氣 | 0.4?0.5兆帕 | 100-220V AC,50 / 60Hz,15A(1,100W) | ||
真空壓力 | 小于21.3kPa | |||
尺寸(主機) | 750( 寬)x | 940( 寬)x | 1,200( 寬)x | |
凈重 | 大約 450公斤 | 大約 550公斤 | 大約 700公斤 | |
選件 | NWF 15X目鏡(一對) | -- |
MPEM-1600 | MPEM-12M | MPEM-16M |
(適用 | (適用 | (適用 |
*除上述以外,還提供電動MPEM-2000 / 4000型和全自動MPEM-8M / 12M型。
產品相關關鍵字: 光刻機 Mask Aligner 掩膜曝光光刻機 光刻系統 MPEM-1600 |
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