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邁可諾技術(shù)有限公司
M6
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1 16元 10臺可售
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更新時(shí)間:2021-02-04 11:36:20瀏覽次數(shù):659次
聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線測量范圍 | 12000mg/L | 加熱功率 | 600w |
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消解瓶容量 | 100ml | 測量誤差 | 1 |
環(huán)境溫度 | 22℃ | 消解瓶容量 | 100ml |
消解時(shí)間 | 1min | 消解樣品數(shù) | 1個(gè)人 |
MINN M6實(shí)驗(yàn)室勻膠旋涂儀可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片,使用無刷直流雙向旋轉(zhuǎn)馬達(dá)控制,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,控制器可拆卸配合手套箱使用,4.3英寸全彩觸屏人機(jī)界面操作,簡單易用。M6 Spin Coater外形美觀,結(jié)構(gòu)緊湊,專為實(shí)驗(yàn)室,研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門提供性價(jià)比高的勻膠涂覆設(shè)備。MINN M6勻膠旋涂儀 在材料、化學(xué)或生物等實(shí)驗(yàn)室被廣泛用于薄膜制備,納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。
實(shí)驗(yàn)室勻膠旋涂儀
技術(shù)參數(shù)
▲1.保護(hù)氣體裝置:旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)(可選擇取消);
2.支持Wafer尺寸:小標(biāo)配為10 mm,可選配到3mm或5mm;大到直徑6英寸(150mm)的圓片或邊長5x5英寸(125x125mm)的方片,無需更換片托;
3.設(shè)備材質(zhì):全部采用易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì),環(huán)保,抗震,耐腐蝕;
▲4.無刷馬達(dá):直流雙向旋轉(zhuǎn),正反旋轉(zhuǎn)速度±100~±12000rpm,穩(wěn)定性能誤差±1rpm;
5.馬達(dá)安全模式:可設(shè)置非真空模式,轉(zhuǎn)速3000rpm,加速度500rpm/s;
6.加速度可控范圍:100-30000RPM/S;
7.工藝時(shí)間:每步可以設(shè)定45小時(shí),精度不超過0.1秒;
8. PLC控制:4.3英寸全彩觸摸屏高精度PLC可編程的控制器;
9.程序段:可存儲99個(gè)程序段,每個(gè)程序段可設(shè)置50個(gè)不同步驟的速度狀態(tài);
10.無油真空泵:220V/50Hz;真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調(diào)節(jié);
11.擴(kuò)展功能:可升級預(yù)留端口,可擴(kuò)展自動滴膠裝置、自動去邊裝置、手動去邊等選配項(xiàng)。
實(shí)驗(yàn)室勻膠旋涂儀設(shè)備性能特點(diǎn)
馬達(dá)控制:無刷直流雙向旋轉(zhuǎn);
智能程控:控制器可拆卸,4.3英寸寸全彩觸屏,配有智能觸碰筆,按鍵有提示音,功能有顏色區(qū)分,適用于手套箱;
腔體材質(zhì):易清潔的NPP天然聚丙烯材質(zhì),抗腐蝕性;
模式切換:可自由切換單步模式、多步模式和曲線分析圖;
防止堵膠:雙真空腔設(shè)計(jì);
預(yù)留端口:可升級擴(kuò)展其他多種選配項(xiàng);
密碼功能:設(shè)有開機(jī)密碼和管理員密碼,管理員有權(quán)限修改核心參數(shù);
安全報(bào)警:系統(tǒng)蓋板嵌鎖、真空異常、通氣異常、系統(tǒng)進(jìn)膠、馬達(dá)轉(zhuǎn)速異常均會報(bào)警,通過聲音和界面對話框提示;
氣流保護(hù):旋涂過程中對馬達(dá)進(jìn)行氣流保護(hù)(也可選擇取消),易維護(hù),易清潔,大幅提高馬達(dá)使用壽命;
四、應(yīng)用領(lǐng)域
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