什么是勻膠機？
勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時間有關。
如何選購合適的勻膠機？
針對目前勻膠機市場品牌眾多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事勻膠機技術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標準。
從其原理來說，我們可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節“
1、旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉速，但是大部分轉速精度沒有標準認定。建議購買轉速控制方面有認定標準的，比如：美國NIST標準等。
2、 真空吸附系統的構造
真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成*堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。
3、 材質的選擇
對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟隆）材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
筆者提醒：
在選購勻膠機的過程中，除了商家的宣傳外，用戶更應掌握必要的空調知識，從技術指標上判別勻膠機的性能。而從目前市場上看，品牌的勻膠機系統在性能上更具優勢。例如：MYCRO MSC-650系列勻膠旋涂儀轉速獲NIST標準認證。其中MYCRO MSC-400B型高精度數碼控制器的勻膠旋涂儀，非常方便設定速度和加速度程序段，20個51步程序段或者手動模式，100~8000RPM的穩定轉速，也可特別訂制1~12000RPM的轉速，可重復性達到+/-0.5RPM，分辨率小于0.5RPM；MSC-400B數碼速度控制器采用的是一個高計數位的光學編碼器輸入至伺服馬達控制器，其設置點精度小于0.006%，獲美國NIST激光測量標準認證，無需校準；
NIST為美國國家標準技術研究所National Institute of Standards and Technology，是一個聯邦政府制定標準和規章制度的機構。專門開發和推廣測量方法、標準以提高生產、促進貿易和改善生活質量。 NIST向美國工業和研究部門、政府機構等提供多達1300種以上的標準物質，用來進行現場儀器標定，質量控制，檢驗測量精度以及開發新的測量方法。
