真空系統用真空插板閥設計規范

【資料簡介】

真空系統用真空插板閥設計規范

本發明的目的在于克服現有技術的不足，針對工件通孔口徑較小的真空室，提供一種密封性好、所占空間小、加工和日常維護都較方便的真空系統用的真空插板閥。本發明的技術方案為一種真空系統用的真空插板閥，包括驅動元件、閥體、閥芯和下清潔蓋板，閥體為中空的長方體結構，閥體的左右兩側壁分別與位于其兩側的真空室固定連接，閥體的左右兩側壁上分別開有閥體通孔，閥體通孔與位于閥體兩側的真空室內的工件通孔相通，閥芯設于閥體內部，驅動元件末端穿過閥體頂部并與閥芯頂部固定連接， 下清潔蓋板設于閥體底部。所述驅動元件與閥體頂部相接處設有密封件，可有效提高驅動元件運行的可靠性和閥體內部的密封性。根據實際需要，閥芯及閥體中部空間的結構形式主要有2種下清潔蓋板設于閥底通孔下方。所述閥芯的第三側面和第四側面上還分別開有設置密封圈用的密封槽，在閥芯和閥體之間增設密封圈，可更好地提高其密封效果。

真空系統用真空插板閥設計規范

  　　真空插板閥的工作原理是閥通過閥桿的左右或上下運動，將閥板與閥座壓緊實現密封。驅動閥桿運動的方式有手動、電動、氣動三種。手動是通過手輪的旋轉，帶動閥桿和閥桿上的螺母或四桿連動式的閥桿使閥板運動。

　　手、電兩用的傳動部件由直流電動機、齒輪箱組成。電動操作時，電動機按某一方向（如關閉方向）旋轉，并通過傳動部件使四桿連動式的閥桿往復運動。當閥板進入與閥座密封部位時，閥板靠板式彈簧部件的作用，使閥板壓緊。

　　此時裝有行程開關而自動切斷電源，運動立即停止。反之，若需打開閥門時，只需按反轉電鈕即可。手動時，只需松開手輪背帽，按一定方向用手轉動手輪即可。手、電兩用的超高真空插板閥外形圖。該閥結構合理，閥板與閥體密封時漏氣速率小于1×10-7Pa·L/s；閥門總漏氣速率小于5×10-8Pa·L/s；閥板開啟時閥體烘烤溫度小于150℃；手動裝置允許受熱溫度小于65℃；工作穩定可靠，操作方便；可遠距離控制。氣動驅動部件以壓縮干燥空氣為動力，通過電磁換向閥使氣動部件帶動傳動裝置，使閥門往復運動實現啟閉作用，達到密封的目的。

真空系統用真空插板閥設計規范有高真空插板閥和超高真空插板閥兩種。

　　1、高真空插板閥主要用于高真空系統中接通或截止氣流，可安裝在被抽真空容器（真空室）與真空泵之間；或用于在半連續真空作業的進出料容器上。使用溫度為-20～80℃，不適用于對黑色金屬有腐蝕性或含顆粒狀物灰塵的氣體。

　　2、超高真空插板閥主要用于超高真空系統中接通或截止氣流。適用的介質為潔凈的空氣或非腐蝕性氣體；適用溫度在閥門開啟時，閥體允許烘烤溫度小于150℃。

　　由于真空插板閥具有流導大，密封性能好，放氣率低，體積小，結構緊湊、合理，操作方便，安裝位置可任意選擇等一系列優點，因此真空插板閥廣泛用于中、大型高真空、超高真空裝置的真空系統中。

真空系統用真空插板閥設計規范的形式和性能參數

　　1、高真空插板閥的形式與基本參數，已有行業標準（JB/T 4077—91）。該標準規范的高真空插板閥的形式和基本參數，適用于1.3×10-5～1.0×105Pa真空系統中用來開啟或隔斷氣流的插板閥。開啟閥門時，閥板兩側的壓差應小于或等于2.7kPa。

　　2、我國生產的超高真空插板閥有手動（CC型）、氣動（CCQ型）和電動（CCD型）三種。適用于介質為清潔空氣及非腐蝕性氣體的超高真空系統中切斷或接通氣流。其中GC型系列高真空插板閥是以螺桿傳動來推動鋼球運動，撐開閥板關閉，又靠彈簧力收攏閥板打開的高真空閥門；GCQ系列以壓縮空氣為動力推動鋼球運動，實現閥門的開啟和關閉。

真空系統用真空插板閥設計規范

　　這兩種閥的材料為不銹鋼，漏氣速率不超過1.3×10-7Pa·L/s。GCD型系列閥門形式同CCD型超高真空插板閥，只是連接法蘭按高真空法蘭由刀口金屬密封結構改為丁腈橡膠圈密封結構；閥體閥板材料可為不銹鋼或碳鋼鍍鎳，閥板密封件材料為丁腈橡膠。適用范圍為1.3×104～105Pa。

 

上述的結構，所述密封板在驅動機構的作用下在閥體內徑向移動至進出口處，軸 向向下移動至出口端，設置于密封板下端的密封圈與所述出口端的連接法蘭接觸密 封，所述插板閥關閉，開啟過程相反，首先密封板軸向向上移動，所述密封圈與所述出 口端的連接法蘭脫離，徑向移動至密封板離開所述進出口位置；在上述的開啟及關閉過程 中，由于與所述的密封圈對應位置的密封板內的水冷通道內部通過軟體進出水管有冷 卻介質流動，因此，有效降低了密封圈的溫度，所述軟體進出水管設置在閥體內，并隨 所述密封板的移動而在所述閥體內移動，不影響動密封配合，確保了動密封的良好密封性能同時延長了密封圈的使用壽命。