低真空抽氣機組的工作壓力范圍約在1330～100Pa之間,其主要特點是工作壓力高、排氣量大,但抽速比中、高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大、工作壓力又高的真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣（鋼水處理）等裝置中。
　　
　　低真空抽氣機組的主泵常用往復式真空泵、油封式機械泵、干式機械泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環泵,分子篩吸附泵、濕式羅茨泵等。一般情況下,低真空機組中的主泵均能直接排大氣。使用低真空抽氣機組,還需要根據被抽氣體的清潔程度、濕度或其他特殊要求,配置必要的除塵器、水氣分離器、油水分離器、干燥或擋油阱等部件。
　　
　　油封機械泵機組抽除可凝性氣體的措施
　　
　　油封機械泵不適于抽除含有大量水蒸汽的氣體。水蒸汽在壓縮過程中會凝結成水滴,并與泵油混合形成懸浮液,破壞泵的抽氣性能,使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用帶有氣鎮裝置的油封機械泵,并使泵的工作溫度控制在75～90℃之間,以減少氣鎮閥負擔;在機組中安裝水汽分離器或油水分離裝置,將混有水的機械泵油進行處理,處理過的油再進入泵中使用;使用各種干燥吸附劑做成捕集阱吸收水蒸汽;使用各種冷凝器或冷阱,不僅能有效地吸附水蒸汽,同時還可阻擋機械泵的油蒸汽向真空室的返流。
　　
　　常用低真空機組型式
　　
　　1.機械泵2.放氣閥3.熱偶規4.管道閥
　　
　　圖3油封機械泵低真空機組
　　
　　1.機械泵2.放氣閥3.擋油阱4.熱偶規5.管道閥
　　
　　圖4有擋油阱的低真空室機組
　　
　　圖3為油封機械泵低真空機組,圖4為油封機械泵加上擋油阱的抽氣機組,適用于化學氣相沉積裝置、真空包裝、醫藥工業等領域。
　　
　　1.水環泵2.止回閥3.管道閥4.大氣噴射泵5.空氣進入閥6.排氣閥7.氣水分離器8.排水口
　　
　　圖5雙級水環泵—大氣噴射泵機組
　　
　　圖5為由雙級水環泵和大氣噴射泵串聯組成的低真空機組,機組的極限壓力為1300Pa。工作時,先開動水環泵,以獲得大氣噴射泵所需的預真空,使大氣噴射泵的進氣口與出氣口之間有壓力差,大氣便通過噴射進入泵內形成高速運動氣流,將被抽氣體吸入,經擴壓器到前級被水環泵排走。該機組適用于真空蒸發、真空濃縮、真空浸漬、真空干燥、真空冷凍等工藝過程。