超純水設備主要應用于新能源、電子電力等工業水處理相關行業，以滿足用水工藝條件要求。在制備超純水時，超純水設備和用水點存在一定的距離需要使用輸送系統。超純水通常使用純化水罐和配備的循環系統以及輸送水泵來實現，在保證產水水質的同時又能保證用水量。

圖一　凈得瑞超純水設備

超純水用水要求較為嚴格，超純水輸送系統設計至關重要。超純水輸送系統設計要求有哪些呢？

①為了盡可能地減少水與儲存容器的接觸面，通常超純水儲存容量應實現小化。高純度氮氣全覆蓋在儲罐上方以隔絕空氣，避免超純水與空氣接觸。

②在材質的選擇上，超純水系統輸送管道通常使用含氟聚合物管道（如PVDF）。

③采用循環管路設計，減少支管分布，以免造成較長的死角而增加不使用時間；管道支架要固定牢靠，嚴格按照規范要求保持合理的支架間距，管道支架接觸處應當放置橡膠墊片，起到對管道減震、緩沖作用；完成安裝后，應進行嚴密性試驗，防止出現接頭漏氣而摻入雜質，影響產水水質。

④由于湍流狀態下不容易滋生物，因此超純水輸送時水流流速應至少為1m/s，有效預防死角的殘留物積聚。

⑤在超純水純度要求非常高的情況下，通常處理方式采用拋光混床系統、紫外線光（線長為254nm和185nm）以及終過濾后不儲存而是直接使用，另外還應通過拋光混床連續循環，以保證用水水質符合要求。