車間油霧凈化設備的凈化作用機理包含兩個方面：
 

　　一、在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學能，使之分解為單質原子或無害分子；
 

　　二、等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發態。當臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，臭氣分子的化學鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性較強的O3，與有害氣體分子發生化學反應，生成無害產物。
 

　　三、車間油霧凈化設備還有一定的凈化作用，具備顯著的生物效應。發生的靜電作用在各種細菌、病毒等微生物表面產生的電能剪切力大于細胞膜表面張力，使細胞膜遭到破壞，導致微生物死亡。因此低工業空氣凈化器除臭技術具有較好的消毒殺菌之功效。