UV光催化氧化設備是目前工業廢氣處理中常用的設備之一，其技術原理如下：

1、利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射來裂解排放的廢氣，能有效處理：硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，等廢氣的分子鏈結構，使有機或無機高分子廢氣化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等，從而達到有效的治理，實現達標排放。

2、利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需要與氧分子結合，進而生產臭氧。臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有*的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有良好的清除效果。

3、惡臭氣體通過廢氣收集排風設備進入到裝有UV光解氧化模塊的反應腔后，高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。

4、利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸(DNA)，再通過臭氧進行氧化反應，*達到脫臭及殺滅細菌的目的。