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紹興市上虞星星儀器設備有限公司作者
無塵車間工程是一個應用行業非常廣泛的基礎性配套產業，在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫療器械、生物制藥、手術室、化學、汽車噴涂等眾多行業均有應用，特別是以微電子、化學、為代表的行業，對于室內環境的要求*。室內生產環境是制約工業生產，特別是高科技生產能否進行的關鍵因素之一。那么常見的無塵車間類型有哪幾種呢？一起來了解一下。
一、無塵車間層流式
此種方式是根據空氣氣流運動成均勻的直線型，空氣由覆蓋率100%的過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于無塵車間等級需定較高的環境使用，一般其無塵車間等級為Class1——100。
其型式可分為二種：
1.垂直層流式：房間天花板*以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高的潔凈度，在生產過程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。
優點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板的吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。
2.水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁的回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。
缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
二、無塵車間亂流式
此種方式是讓空氣通過空調箱經風管與無塵車間內的空氣過濾器(HEPA)進入無塵車間，并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。此型式適用于無塵車間等級1000-100000級。氣流非直線型運動而呈不規則的亂流或渦流狀態。
優點：構造簡單、系統建造成本低，無塵車間的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵車間等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求的潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
三、無塵車間復合式
此種方式是將亂流式及層流式合并使用，可提供局部超潔凈的空氣。
1.裝局部無塵車間：將廣州無塵車間等級10000——100000的亂流無塵車間內的產品生產區潔凈度等級提高為10——1000級以上，以便滿足生產條件；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
2.凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離，少量的送風即可得到良好的潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
3.凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將生產區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上，可節省安裝運轉費用。此類型需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點：①彈性擴充容易；②維修設備時可在維修區輕易執行。
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