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四氯化硅處理成套系統(tǒng)
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- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時(shí)間:2021-12-01 11:45:56瀏覽次數(shù):1997
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四氯化硅處理成套系統(tǒng)
一、概述
四氯化硅處理成套系統(tǒng),四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)是應(yīng)用于多晶硅生產(chǎn)線的尾氣回收裝置,利用本回收系統(tǒng)將廢氣回收成二氧化硅和鹽酸,本系統(tǒng)已獲,經(jīng)投放,取得了好的效益。
生產(chǎn)多晶硅是一個(gè)提純過程,主要原料是三氯氫硅,再用氫氣進(jìn)行一次性還原,這個(gè)過程中約有25的三氯氫硅轉(zhuǎn)化為多晶硅,其余大量進(jìn)入尾氣,同時(shí)形成副——四氯化硅。四氯化硅是危,遇空氣遇水會(huì)產(chǎn)生對(duì)體有害的氣體。在這個(gè)過程中,如果回收工藝不成熟,三氯氫硅、四氯化硅、等有害物質(zhì)有可能外溢,存在的安全和污染隱患。而且多晶硅與四氯化硅的生成比例為1:15,即生產(chǎn)一噸多晶硅,就需要處理15噸的四氯化硅,處理量非常大。目前內(nèi)處理多晶硅在上已經(jīng)開創(chuàng)出了兩個(gè)方式,一是將四氯化硅熱氫化后再生成生產(chǎn)多晶硅的原料,可以回收利用一部分四氯化硅,但不能回收,還是會(huì)產(chǎn)生污染。二種方法就是通過化工工藝將四氯化硅轉(zhuǎn)化成附加值的化工,即無害的二氧化硅,我公司經(jīng)過幾年的與應(yīng)用,地將本應(yīng)用于本中,將尾氣“變廢為寶”。
二、,四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)工作原理
(1)、四氯化硅提純:
因四氯化硅中含有一些雜質(zhì),為了得到的二氧化硅和鹽酸,將四氯化硅在蒸發(fā)器中蒸發(fā),再經(jīng)精餾塔提純,使其得到純度非常的四氯化硅氣體。
(2)、四氯化硅水解:
純的四氯化硅氣體進(jìn)入到水解塔內(nèi),同時(shí)循液通過泵的作用使循液均勻分布到各個(gè)霧化器當(dāng)中,通過霧化器向下噴淋。與進(jìn)入水解塔內(nèi)的四氯化硅發(fā)生反應(yīng),形成硅酸及氣體。
(3)、二氧化硅的形成:
硅酸進(jìn)入壓濾系統(tǒng)進(jìn)行壓濾成為濾餅,再進(jìn)入干燥機(jī)干燥后形成純度為99.85的二氧化硅。
(4)、回收鹽酸:
氣體進(jìn)入降膜回收裝置,氣體與水反應(yīng)生成鹽酸。同時(shí)冷卻水進(jìn)入本裝置內(nèi)對(duì)進(jìn)行冷卻,以增加的回收效率。
沒有反應(yīng)完的氣體再進(jìn)入下一級(jí)吸收塔內(nèi),再進(jìn)行一次鹽酸的回收,zui后氣體達(dá)標(biāo)。
以上是,四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)的詳細(xì)信息,如果您對(duì),四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)的、廠、型號(hào)、圖片有什么疑問,請(qǐng)獲取,四氯化硅尾氣回收系統(tǒng)的信息。
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