用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架及四探針頭組成。

特點  
1、配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更精確。 
數(shù)字電壓表量程：0—199.99mV  靈敏度：10μV  輸入阻抗：1000ΜΩ 
                        基本誤差±（0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度） 
2、可測電阻率范圍：10—4 —1.9×104Ω·cm。 
     可測方塊電阻范圍：10—3 —1.9×105Ω/□。 
3、設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。 
4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。 
電流量程分五檔：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 
5、儀器采用觸點電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。 
6、可加配電腦，使用軟件進行數(shù)據(jù)采集,實現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值，zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。