蘇州潔凈室凈化工程

凈化工程

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。 

2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。 

3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。 

4.凈化在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內的工程學科。

蘇州潔凈室凈化工程

潔凈室凈化工程設計首先要了解所設計的潔凈室凈化工程的用途、使用情況、生產工藝特點等、比如設計的是集成電路生產用潔凈室凈化工程．首先要弄清楚產品的特性——集成度、持形尺寸和生產工藝特點；對潔凈室凈化工程的要求——空氣潔凈度等級、溫濕度及其控制范圍、防微振、防靜電和高純物質的供應要求等；其次要充分了解業主擬采用的生產工藝、工藝設備情況和對工藝布局的設想。在此之后，設計人員應協同業主確定潔凈廠房各功能區的區劃，確定各類生產工序(房間)的空氣潔凈度等級和各種控制參數——溫度、相對濕度、壓差、微振動、高純物質的純度及雜質含量；初步選擇潔凈室凈化工程的氣流流型并進行凈化空調系統的初步估算及設計力案的對比、確定；進行潔凈廠房的平面布置、空間布置，此時必須首先安排好產品生產區與個產輔助區t動力公用設施區的合理布局，通常是順應產品的生產工藝硫程，在確保產品生產環境要求的倩況下做到有利于產品生產的操作、管理，有利于節約能源、降低生產成本。

在進行潔凈室凈化工程的平面布局時必須符合國家的現行規范中有關安全生產、消防、環保和職業衛生方面的各種要求；在進行潔凈室凈化工程平面布局時應充分考慮人流、物流的安排．盡力做到短捷、流暢。在空間設計時應分考慮產品生產過程和潔凈室凈化工程內各種管線、物流運輸的合理安排。在確定潔凈廠房的平面、空間布置后，對潔凈室凈化工程設計涉及的各個專業提出設計內容、技術要求及設計中應注意的相關問題。

化工程的控制潔凈室中的溫濕度控制 潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。 具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。