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470是溶解臭氧測量模塊，為半導 體濕法處理和許多其他工業過程設計。它能 夠提供去離子水或硫酸中濃度高達150mg/L 的溶解臭氧測量。470已完成“預備清潔”， 能夠滿足高純度半導體過程的需求，并且可 簡單的直接拼接進任何濕法處理的環流回路 中，最高支持150 SLPM的流量。 470型傳感器使用雙路取樣傳感技術，且擺脫了對參比液體測 量的需求。 通常的安裝僅僅包括470傳感器和特氟龍7包 裹的內部連接電纜。470傳感器能夠通過模 擬或數字信號向濕法處理過程控制臺遠程報 告測量的濃度。
技術指標
測量原理 ：紫外吸收法，雙路取樣傳感技術
紫外光源 ：低壓汞燈
測量單位 ：ppmw, mg/L
量程 ：高達150 mg/L (150 ppmw)
精度 ：0.5mg/L 或 1%讀數 (以較大值為準）
水流量 ：高達150 SLPM
采樣端口 ：1”, 3/4”, 3/8” Flaretek 連接
最大壓強 ：55 PSI
接觸材料 ：特氟龍, 藍寶石, 與半導體流程相容
外殼 ：聚四氟乙烯特氟隆
尺寸 ：5.69” 寬 x 6.8” 高 x 3.2” 長 - 垂直固定 (144 x 171 x 82 mm)
維護：紫外燈每24個月替換一次 無其他預定維護
電纜：特氟龍外層
電源：+15 VDC
認證：CE 認證
模擬輸出：4到20mA或0到5VDC，出廠時選擇
數字 I/O：RS-232 或 RS485，出廠時選擇
遠程校零：通過DB15進行遠程零點校準
產品特點
現場檢測
在線且全流量監測
直線通過的流型
無移動部件
無消耗品
測量范圍最高達150 mg/L
遠程零點校準
高精度紫外吸收法
雙光道采樣感應技術
不需求日常維護
半導體級別濕式材料
緊湊的特氟龍外殼
特氟龍7包裹的內部連接電纜
應用
液態溶解臭氧
半導體濕法清洗系統
超純水系統
制藥業
水處理
其他工業過程
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