產(chǎn)品特色

EFM500氣體流量傳感器的特征是：可雙向檢測(cè)氣體流量，測(cè)量范圍是±（20-500 ）SLPM，總誤差為讀數(shù)的1%。流線型對(duì)稱設(shè)計(jì)，高質(zhì)量塑料制造，即使在雙向流量下也呈現(xiàn)非常低的壓降。校準(zhǔn)氣體為空氣，也可根據(jù)要求提供其他非腐蝕性氣體。

性能指標(biāo)

校準(zhǔn)氣體    空氣，其它可用氣體根據(jù)要求

流量范圍    ±（ 20-500 ）SLPM，雙向或單向

供電電壓    3.3V 或 5V

工作壓力    1.45BarA

預(yù)熱時(shí)間    35ms

輸出信號(hào)    I2C，SPI，0-5V，0-3.3V

總 誤  差    1%讀數(shù)

ADC分辨率    16位

輸出刷新率    1ms（ 1KHz ）

壓       損   <750pa@200 SLPM

操作溫度    - 40℃ ~ 85℃

校準(zhǔn)溫度    0℃ ~ 50℃

濕       度    0% - 95% RH, 無冷凝

尺       寸    44×92.8×35.4mm（W×L×H)

材       質(zhì)    接液材質(zhì)：增強(qiáng)玻璃熱塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

                  環(huán)氧樹脂、硅橡膠、FR4、聚氨酯、316不銹鋼

                  外殼材質(zhì)：增強(qiáng)玻璃熱塑性聚合物

過程接口    22mm ISO 5356

電氣接口    2mm 鎖定連接器

認(rèn)       證    RoHS, CE,WEEE

選項(xiàng)配件

評(píng)估套件

氣體流量評(píng)估套件被設(shè)計(jì)成一款即插即用型設(shè)備，無需定制軟件或硬件設(shè)計(jì)及開發(fā)，旨在為用戶提供一個(gè)緊湊的解決方案來評(píng)估EFM500系列雙向氣體質(zhì)量流量計(jì)。開發(fā)了一個(gè)用戶友好的軟件用于記錄和監(jiān)測(cè)EFM500系列的流量數(shù)據(jù)。